[实用新型]光栅棒、激光传感组件和镀膜设备

权利要求书

1.一种光栅棒，其特征在于，包括：

光栅本体，所述光栅本体包括多个光栅片，多个所述光栅片沿所述光栅片的轴向层叠设置，形成棒状结构；

保护装置，所述保护装置包覆在所述光栅本体的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的光栅棒，其特征在于，还包括：

紧固装置，所述紧固装置设置在所述保护装置上，用于固定所述保护装置和所述光栅本体。

3.根据权利要求2所述的光栅棒，其特征在于，

所述光栅本体沿轴向方向的两端分别为第一端和第二端，所述第一端的第一个所述光栅片为第一光栅片，所述第一光栅片的厚度大于其他任意所述光栅片的厚度，其他任意所述光栅片的厚度相同。

4.根据权利要求1所述的光栅棒，其特征在于，

每个所述光栅片的横截面均为圆形；

每个所述光栅片的直径相同；

所述保护装置为圆筒形结构。

5.根据权利要求1所述的光栅棒，其特征在于，

所述光栅片为石英片；

所述保护装置为金属保护装置。

6.根据权利要求4所述的光栅棒，其特征在于，

所述保护装置的筒壁的厚度为d，其中，0.1mm≤d≤0.5mm。

7.根据权利要求3所述的光栅棒，其特征在于，

所述紧固装置为多个，多个所述紧固装置至少包括第一紧固装置和第二紧固装置；

在所述光栅本体中，与所述第一光栅片相邻的光栅片为第二光栅片，所述第二端的第一个光栅片为第三光栅片，与所述第三光栅片相邻的光栅片为第四光栅片；

所述第一紧固装置设置在所述保护装置上的位置对应于所述第一光栅片与所述第二光栅片之间的位置，所述第二紧固装置设置在所述保护装置上的位置对应于所述第三光栅片与所述第四光栅片之间的位置。

8.根据权利要求2所述的光栅棒，其特征在于，

所述紧固装置为卡扣，所述卡扣包括扣环，所述扣环包括第一自由端和第二自由端，所述第一自由端的底面设有齿母，所述第一自由端的顶面沿圆周方向设有限位槽，所述第二自由端设置有咬合块和夹持块，所述咬合块与所述夹持块相对设置，且所述咬合块位于所述夹持块的下方，所述咬合块上设有与所述齿母相匹配的齿钉，所述夹持块下设有凸起，所述第一自由端伸入所述第二自由端咬合时，所述凸起在所述限位槽中滑动。

9.一种激光传感组件，其特征在于，包括：

如权利要求1至8中任一项所述的光栅棒；

光栅底座，所述光栅底座与所述光栅本体固定连接；和

激光收发装置，所述激光收发装置设置在所述光栅底座上，所述激光收发装置用于发射或接收光源信号。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

两个如权利要求9所述的激光传感组件，两个所述激光传感组件相对设置；

其中，一个所述激光传感组件用于发射所述光源信号，另一个所述激光传感组件用于接收所述光源信号。