[实用新型]一种真空室内传输机构定位装置

说明书

本实用新型公开了一种真空室内传输机构定位装置，包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置，在定位位置处的真空室箱体上设有通孔，气缸通过密封座固定在通孔处，在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套，气缸的活塞杆沿导向套移动，在活塞杆末端安装有活动定位块，活动定位块上设有倒V型凸起，传输机构上安装有固定定位块，固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制气缸动作。本实用新型的定位装置通过在定位位置处的真空室箱体上设置气缸，由设置在气缸上的活动定位块与设置在传输机构上的固定定位块配合来保证每一次的精准定位。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空室内传输机构定位装置。

背景技术

基片架在真空室内传送时，要求传输机构能够精准定位。现有技术中的定位是单纯的依靠PLC通过控制马达的速度和时间来计算出传输机构的位置，长时间的运行中需要定期进行校正处理，才能保证位置的精准度要求，从而增加了工作负担影响工作效率。

发明内容

本实用新型提供一种真空室内传输机构定位装置，通过增加机械式的定位装置能有效的确保每次的定位精准度。

本实用新型采用的技术方案如下：一种真空室内传输机构定位装置，包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置，在定位位置处的真空室箱体上设有通孔，气缸通过密封座固定在通孔处，在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套，气缸的活塞杆沿导向套移动，在活塞杆末端安装有活动定位块，活动定位块上设有倒V型凸起，传输机构上安装有固定定位块，固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制气缸动作。

进一步地，在真空室内壁上安装有导向座，所述活动定位块沿导向座移动。

进一步地，所述气缸与密封座之间通过双层或多层油封密封。

进一步地，所述固定定位块通过固定座安装在传输机构上，固定定位块与固定座之间通过螺栓连接，设置在固定固定块上的螺栓孔为腰型孔。

本实用新型的定位装置通过在定位位置处的真空室箱体上设置气缸，由设置在气缸上的活动定位块与设置在传输机构上的固定定位块配合来保证每一次的精准定位，首先，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间控制传输机构运行到定位位置，然后，启动气缸由活动定位块和固定定位块的配合保障传输机构的精准定位。

气缸直接固定在密封座上通过双层或多层油封密封的方式来保证整个装置在运动过程中的密封性要求，靠近真空侧一端密封座内部安装导向套用以保证气缸的直线度要求，在真空室内部相应位置安装导向座确保活动定位块能上下灵活移动而不会左右晃动，固定固定块通过腰型孔及螺栓固定在固定座上，可弥补在装配过程中产生的误差。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1所示，本实施例的一种真空室内传输机构定位装置，包括传输机构9、传输机构驱动马达、PLC，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置，在定位位置处的真空室箱体上设有通孔，气缸1通过密封座2固定在通孔处，气缸1与密封座2之间通过双层或多层油封6密封，在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套3，气缸的活塞杆沿导向套移动，在活塞杆末端安装有活动定位块4，在真空室内壁上安装有导向座7，所述活动定位块4沿导向座7移动，活动定位块4上设有倒V型凸起，固定定位块5通过固定座8安装在传输机构9上，固定定位块5与固定座8之间通过螺栓连接，设置在固定固定块5上的螺栓孔为腰型孔，固定定位块5上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽，PLC控制气缸动作。