[实用新型]一种应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构

权利要求书

1.一种应用于高温化学气相沉积炉上的绝缘密封结构，所述沉积炉内，感应线圈设置在若干圆柱上，其特征在于：所述感应线圈表面包覆有若干层耐高温石英绝缘布，层与层之间涂覆有耐高温绝缘漆，所述若干层耐高温石英绝缘布的整体外表面依次涂覆耐高温绝缘漆和环氧树脂；所述感应线圈伸出炉体的部分为与外部电源连接的接口，一绝缘环氧玻璃纤维连接件套入该接口处，所述绝缘环氧玻璃纤维连接件与所述接口之间留有间隙，两根长聚四氟乙烯管插入所述间隙，且所述间隙通过高粘性耐高温硅酮密封胶密封，所述两根长聚四氟乙烯管上分别套入一耐高温橡胶垫圈后再整体套入铜制螺母、绝缘环氧玻璃纤维盖板后与所述沉积炉炉体法兰板连接。

2.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述圆柱底部与所述沉积炉炉底之间采用焊接在所述沉积炉炉底的圆弧形角铁连接，所述圆弧形角铁的圆弧面与所述圆柱弧面贴合。

3.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述圆柱直径200mm，高度500～1000mm。

4.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述沉积炉内每个感应线圈下部有4～6个支撑圆柱。

5.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：在所述圆柱底部表面开有弧形槽，槽深60～100mm，所述感应线圈设置在所述弧形槽中。

6.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述耐高温石英绝缘布为2～4层，每层厚度约1mm。

7.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述感应线圈与炉体之间留有200～400mm的空隙，在使用过程中，空隙内通入氩气作为保护气。

8.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述两根长聚四氟乙烯管的长度分别为10mm和50mm。

9.根据权利要求1所述的绝缘密封结构，其特征在于：所述绝缘环氧玻璃纤维盖板与所述炉体法兰板的连接方式为螺栓连接。