[实用新型]一种曝光显影机

权利要求书

1.一种曝光显影机，包括曝光装置以及显影装置，其特征在于：

所述曝光装置包括传送装置以及真空曝光室，所述传送装置安装在所述真空曝光室内，用于将待加工的板件从所述曝光装置输送至所述显影装置内，所述真空曝光室内设有用于曝光的LED灯，所述LED灯安装在所述传送装置的两侧，所述真空曝光室内还设有用于冷却所述LED灯的排气机；

所述显影装置与所述曝光装置相连接，所述显影装置包括装有有机溶液的显影单元，在所述显影单元的一端设有第一感应装置，在显影单元的另一端装有第二感应装置。

2.如权利要求1所述的曝光显影机，其特征在于：所述LED灯的水平折射角小于1.0°。

3.如权利要求1或2所述的曝光显影机，其特征在于：所述有机溶液为有机碱溶液。

4.如权利要求1或2所述的曝光显影机，其特征在于：所述曝光装置外设有第一感应灯以及第二感应灯，所述第一感应灯与所述第一感应装置相对应，所述第二感应灯与所述第二感应装置相对应。

5.如权利要求4所述的曝光显影机，其特征在于：所述第一感应灯亮的时候呈绿色，所述第二感应灯亮的时候呈红色。

6.如权利要求1所述的曝光显影机，其特征在于：所述显影装置内还设有清洗单元以及用于将所述板件烘干的烘干单元，所述显影单元、所述清洗单元与所述烘干单元由所述传送装置依次连接。

7.如权利要求6所述的曝光显影机，其特征在于：所述清洗单元包括水泵、清洗液进管以及清洗液出管，所述清洗液进管与所述清洗液出管上均安装有过滤装置。

8.如权利要求7所述的曝光显影机，其特征在于：所述过滤装置内的过滤材质为棉芯。

9.如权利要求7或8所述的曝光显影机，其特征在于：所述显影单元包括显影槽，所述显影槽的上端设有气缸，所述气缸的伸缩杆上固定连接有显影槽的盖体，所述显影槽上连接有所述清洗液进管与所述清洗液出管。

10.如权利要求9所述的曝光显影机，其特征在于：所述显影槽的盖体上安装有烘干单元。