[实用新型]一种供气装置有效
| 申请号： | 201822112431.3 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN209213472U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 常军 | 申请（专利权）人： | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01;F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201613 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械手 气源 电控制阀 供气装置 控制支路 气动控制阀 本实用新型 梭阀 总路 气体输送 气源驱动 手动开启 依次串联 组件控制 组件连接 输出口 输入口 断电 供气 驱动 | ||
1.一种供气装置，其特征在于，包括：
控制总路，所述控制总路包括气源(1)和电控制阀组件(2)，所述气源(1)与所述电控制阀组件(2)连接；
多条控制支路，各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀(3)、梭阀(4)和气动控制阀(5)，所述电控制阀组件(2)与各所述控制支路的所述机械手阀(3)相连，所述气源(1)还与各所述控制支路上的所述机械手阀(3)相连；
还包括总控机械手阀(6)，所述总控机械手阀(6)的输入口与所述气源(1)相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀(4)相连。
2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述机械手阀(3)包括第一输入口(31)、第二输入口(32)和第一输出口(33)，所述第一输入口(31)与所述气源(1)连接，所述第二输入口(32)与所述电控制阀组件(2)连接，所述第一输出口(33)与所述梭阀(4)相连。
3.根据权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述总控机械手阀(6)包括第三输入口(61)、第四输入口(62)和第二输出口(63)，所述第三输入口(61)与所述气源(1)连接，所述第四输入口(62)连接有消音器(64)，所述第二输出口(63)与各所述控制支路上的所述梭阀(4)相连。
4.根据权利要求3所述的供气装置，其特征在于，所述梭阀(4)包括第一进口(41)、第二进口(42)和出口(43)，每条所述控制支路上的所述梭阀(4)的所述第一进口(41)与该所述控制支路上的所述机械手阀(3)的所述第一输出口(33)相接，所述出口(43)与该所述控制支路上的所述气动控制阀(5)相连，所述总控机械手阀(6)的所述第二输出口(63)与各所述梭阀(4)的所述第二进口(42)均相连。
5.根据权利要求4所述的供气装置，其特征在于，每条所述控制支路上的所述机械手阀(3)的所述第一输出口(33)与该所述控制支路上的所述梭阀(4)的所述第一进口(41)之间设置有指示器(7)。
6.根据权利要求4所述的供气装置，其特征在于，所述总控机械手阀(6)的所述第二输出口(63)与各所述梭阀(4)的第二进口(42)之间至少设置一个指示器(7)。
7.根据权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述电控制阀组件(2)包括控制模块(21)和电磁阀(22)，所述电磁阀(22)与所述控制模块(21)电连接，所述气源(1)与所述电磁阀(22)连接。
8.根据权利要求7所述的供气装置，其特征在于，所述电磁阀(22)与各所述机械手阀(3)的所述第二输入口(32)连接。
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