[实用新型]一种喷淋单元及硅片清洗系统

说明书

本申请公开了一种喷淋单元及硅片清洗系统，该喷淋单元包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通；该硅片清洗系统包括脱胶单元、漂洗单元和上述的喷淋单元。对硅片清洗时，可以将第二喷淋槽清洗完之后的水回用至第一喷淋槽进行预清洗，一方面达到节约用水的目的，另一方面减少污水处理所需的化学品和电力成本。

技术领域

本实用新型一般涉及单晶切片制造技术领域，具体涉及一种喷淋单元及硅片清洗系统。

背景技术

硅片清洗主要通过两种设备实现，硅片脱胶机和硅片清洗机，硅片脱胶机完成硅片切割后的预冲洗和脱胶工作，现有的硅片脱胶机采用喷淋预清洗后酸脱胶的方式，脱胶机内设有喷淋室，喷淋室内设有喷淋槽、硅片脱胶溶剂槽和脱胶后硅片漂洗槽。使用时，打开喷淋室，将尚未与粘胶板、晶托分离的硅片以串联的方式依次进入两个喷淋槽进行喷淋。

如图1所示，硅片脱胶机的储水箱801内存储自来水，通过两路不同的管路与第一喷淋槽802和第二喷淋槽803连接，需要补水时通过第一循环泵804及第二循环泵805将自来水分别补入第一喷淋槽 802和第二喷淋槽803中。第一喷淋槽清洗完毕后将废水直接排入污水井806中，第二喷淋槽803清洗完毕后将废水排入废液槽中807，当废液槽807储满后通过第三循环泵将废水排放至污水井806中。每个喷淋槽单刀用水为0.5吨左右，则两槽喷淋单刀用水为1吨，喷淋结束后该两个喷淋槽的水直接废弃，不仅造成了水和电的浪费，同时还加大了污水处理压力，生产成本较高。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种喷淋单元及硅片清洗系统。

为了克服现有技术的不足，本实用新型所提供的技术方案是：

第一方面，本实用新型提供一种喷淋单元，其特殊之处在于：包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，所述储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，所述第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，所述回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通。

进一步地，所述回水管路包括自所述第二喷淋槽至所述回用水槽方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽及过滤器，或自所述回用水槽至所述第二喷淋槽方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽及过滤器。

进一步地，所述过滤器的数量为两个，两个过滤器之间设有第一回水循环泵。

进一步地，所述喷淋单元还包括废液收集装置，所述回用水槽通过第一排水管路与所述废液收集装置相连，所述第一排水管路上设有第一排水液位阀。

进一步地，所述喷淋单元还包括第三排水管路，所述第三排水管路两端分别连接于所述回用水槽上和所述第一排水管路上。

进一步地，所述喷淋单元还包括水源，所述水源通过第三供水管路与所述储水槽相连。

第二方面，本实用新型还提出了一种硅片清洗系统，包括脱胶单元、漂洗单元和上述喷淋单元，所述脱胶单元包括储酸槽和至少一个脱胶溶剂槽，所述脱胶溶剂槽通过第三供水管路的一条或多条支路与储水槽相连，所述脱胶溶剂槽通过供酸管路一条或多条支路与所述储酸槽相连；所述漂洗单元包括漂洗槽，所述漂洗槽通过第三供水管路的另外一条支路与储水槽相连。

进一步地，所述硅片清洗系统还包括废液槽，所述废液槽通过第一排液管路的一条或多条支路与所述脱胶溶剂槽相连，所述漂洗槽通过第二排液管路与所述废液槽相连。

进一步地，所述废液槽通过排污管路所述废液收集装置相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：