[实用新型]一种紫外阴极射线光源系统

说明书

一种紫外阴极射线光源系统，包括阴极射线发射装置、电子聚焦加速装置、第一反光杯、发光薄膜材料、光束整型器件、聚焦透镜和第二反光杯，光束整型器件设于第一反光杯内，发光薄膜材料同时位于第一反光杯焦点位置处和光束整型器件焦点位置处，聚焦透镜位于第一反光杯出口处、且聚焦透镜的聚焦点位于第二反光杯焦点位置处，阴极射线发射装置发出的电子束源经过电子聚焦加速装置加速、并注入发光薄膜材料，从发光薄膜材料发出的光经过第一反光杯反射和光束整型器件后形成平行光束出射光，该平行光束出射光经过聚焦透镜聚焦、并经过第二反光杯反射后形成相应尺寸的平行光束，大大提高了紫外光源的质量，可应用范围更广。

技术领域

本实用新型涉及到光源系统技术领域，尤其是一种紫外阴极射线光源系统。

背景技术

紫外光源在杀菌消毒、紫外胶固化、打印、PCT曝光以及超导材料等领域都具有重要应用，采用阴极射线发光法的光源系统中，仅单纯地采用场发射或者热发射电子束，通过加速电场加速，直接将高能量电子注入到发光材料中，激发发光材料发光，通过阴极射线发光法方式虽然有效提高电子注入率，减少由于电子散射等的损耗，提高发光功率等，但是发光材料自身没有调制光束方向以及光斑大小的功能，阴极射线发光的方向就是随机的、不确定的，导致阴极射线光源光束质量不高，应用方向过于狭小。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种可大大提高输出紫外光源质量的紫外阴极射线光源系统。

为解决上述目的，本实用新型采用的如下技术方案。

一种紫外阴极射线光源系统，包括阴极射线发射装置、电子聚焦加速装置、第一反光杯、发光薄膜材料、光束整型器件、聚焦透镜和第二反光杯，光束整型器件设于第一反光杯内，发光薄膜材料同时位于第一反光杯焦点位置处和光束整型器件焦点位置处，聚焦透镜位于第一反光杯出口处、且聚焦透镜的聚焦点位于第二反光杯焦点位置处，阴极射线发射装置发出的电子束源经过电子聚焦加速装置加速、并注入发光薄膜材料以受激发光，从发光薄膜材料发出的光经过第一反光杯反射和光束整型器件后形成平行光束出射光，该平行光束出射光经过聚焦透镜聚焦、并经过第二反光杯反射形成相应尺寸的平行光束。

优选地，以穿过第二反光杯焦点位置的直线为轴线，第二反光杯绕该轴线转动或第二反光杯摇摆扫描运动以调整所述平行光束的反射方向。

优选地，若第二反光杯做绕所述轴线转动运动时，转速最小为 0.01转/分钟，转速可以为恒定速度或周期变化速度；若第二反光杯做摇摆扫描运动时，速度最少为0.01转/分钟。

优选地，以发光薄膜材料靠离光束整型器件一面的外边缘的点为第一连点，以第一发光杯边缘处的点为第二连点，第一连点和第二连点连接形成连线，该连线位于光束整型器件内，光束整型器件由此遮住从发光薄膜材料外边缘发出至反光杯边缘的光。

优选地，发光薄膜材料靠离光束整型器件一面设有增透膜，发光薄膜材料背离光束整形器件另一面设有增反膜。

优选地，增透膜或增透膜可以是单层，也可以是周期或非周期的多层材料，增透膜或增透膜的厚度至少为30纳米。

优选地，第一反光杯可以是圆球形、抛物面或椭球面型，第二反光杯可为圆形、抛物面或椭球形，光束整型器件可以是凸透镜或菲涅耳透镜，聚焦透镜可为凸透镜或菲涅耳透镜。

优选地，第一反光杯的曲率半径至少为10.0mm，第二反光杯的焦距最少为1.0cm，光束整型器件的半径尺寸最少为10.0mm。

优选地，发光薄膜材料可以为紫外薄膜材料、量子阱结构材料、量子线材料或量子点结构材料，发光薄膜材料横向尺寸最少为2.0mm。

优选地，发光薄膜材料波长在255nm到325nm之间。

本实用新型的有益效果如下：