[实用新型]一种双头激光振镜系统

权利要求书

1.一种双头激光振镜系统，其特征在于：包括Z轴动态箱体(10)和两个XY振镜模块(20)，所述Z轴动态箱体(10)内设置有两组Z轴动态模块，所述Z轴动态模块分别与XY振镜模块(20)对应，所述XY振镜模块(20)设置在Z轴动态箱体(10)前方，所述Z轴动态箱体(10)的第一侧壁(110)上开设有两个激光入射孔(101)，所述两个XY振镜模块(20)的第七侧壁分别与所述Z轴动态箱体(10)的第二侧壁(120)连接；所述Z轴动态模块包括设置在Z轴动态箱体(10)第二侧壁(120)上的Z轴镜筒(121)，所述Z轴镜筒(121)内嵌有两个聚焦镜片(122)，所述XY振镜模块(20)与Z轴镜筒(121)相对处设有第一通孔(210)，所述Z轴动态箱体(10)的第三侧壁(150)内侧安装有直线导轨(141)，直线导轨(141)上嵌有滑座，直线导轨(141)的方向为激光入射孔(101)往Z轴镜筒(121)方向，所述滑座上连接有动态聚焦Z轴装置(142)，动态聚焦Z轴装置(142)上设置有Z轴镜座(144)，所述Z轴镜座(144)内嵌有聚焦Z轴镜片，动态聚焦Z轴装置(142)靠近激光入射孔(101)处设置有限制光束的光阑(145)，所述聚焦Z轴镜片与光阑圆孔(146)同轴，所述动态聚焦Z轴装置(142)一侧设置有螺母转接件(143)，所述螺母转接件(143)一侧与动态聚焦Z轴装置(142)连接，螺母转接件(143)靠近第一侧壁(110)的一端与设置在第一侧壁(110)上的调焦旋钮(130)连接，所述Z轴镜筒(121)和Z轴镜座(144)上设置有挡光板(125)，所述Z轴动态箱体(10)内还设置有Z轴驱动板(126)和Z轴DA卡；所述XY振镜模块(20)内部设置有内支架(230)，内支架(230)内部设有空腔，所述XY振镜模块(20)的第四侧壁(240)上开设有保护窗口(220)，所述保护窗口(220)内嵌有保护镜片(221)，保护窗口(220)和第一通孔(210)分别与空腔连通，所述XY振镜模块(20)的第五侧壁(248)内侧靠近第四侧壁(240)设置有Y振镜(231)，Y振镜(231)伸入到空腔中，Y振镜(231)包括Y轴电机和与Y轴电机的端部连接的Y镜片(232)，所述XY振镜模块(20)的第六侧壁(270)内侧安装有X振镜(233)，X振镜(233)包括X轴电机和与X轴电机的端部连接的X镜片(234)，所述XY振镜模块(20)内部还安装有X轴驱动板(242)、Y轴驱动板(241)和XY轴DA卡。

2.如权利要求1所述的一种双头激光振镜系统，其特征在于：所述激光入射孔(101)的中心、聚焦镜片(122)的中心、第一通孔(210)的中心、Z轴镜片的中心和光阑圆孔(146)的中心位于同一水平直线上。

3.如权利要求1所述的一种双头激光振镜系统，其特征在于：所述X轴驱动板(242)上集成有X振镜(233)的驱动电路，Y轴驱动板(241)上集成有Y振镜(231)的驱动电路。

4.如权利要求1所述的一种双头激光振镜系统，其特征在于：所述两个XY振镜模块(20)的第四侧壁(240)外侧保护窗口(220)上方设置有横杆(260)。

5.如权利要求1所述的一种双头激光振镜系统，其特征在于：还包括水冷却系统，所述水冷却系统为XY振镜模块(20)内设置有第一水冷却板，所述第一水冷却板通过进水双头快插水管和出水双头快插水管与Z轴动态箱体(10)内的第二水冷却板连接，所述Z轴动态箱体(10)的第一侧壁(110)上设置有与第二水冷却板连接的进水快插接头(311)和出水快插接头(312)。