[实用新型]一种近场太赫兹波光谱成像系统有效

专利信息
申请号: 201822129740.1 申请日: 2018-12-18
公开(公告)号: CN209356405U 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 鲁远甫;佘荣斌;刘文权;李光元;焦国华;吕建成 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: G01N21/552 分类号: G01N21/552
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 衰减全反射 太赫兹波 光谱成像系统 待测样品 近场 太赫兹时域光谱 夹具 单像素成像 多光谱成像 全反射原理 太赫兹波段 投影面位置 表面形成 测量原理 高分辨率 检测样品 近场探测 在体检测 光控法 体材料 倏逝场 光场 掩膜 重构 调制 紧贴 投影 承载 申请
【权利要求书】:

1.一种近场太赫兹波光谱成像系统,所述系统的基础光路为:飞秒激光器(1)输出的激光被分成两路;一路经过延迟线(3)后汇聚于太赫兹发射天线(4);另一路聚焦于太赫兹探测天线(6);所述太赫兹发射天线(4)产生的太赫兹波信号与待测样品(9)发生相互作用后被聚焦到接收端的太赫兹探测天线(6);其特征在于:

所述系统还包括衰减全反射模块(8),所述太赫兹发射天线(4)产生的太赫兹波在所述衰减全反射模块(8)中发生全反射,进而在所述衰减全反射模块(8)的全反射面(82)形成太赫兹倏逝场,所述待测样品(9)直接承载在所述衰减全反射模块(8)的所述全反射面(82)上。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于:所述衰减全反射模块(8)整体为三角棱柱,截面为等腰三角形;

所述太赫兹发射天线(4)产生的太赫兹波从三角棱柱的入射面(81)射入,经过所述全反射面(82)发生全反射,然后从出射面(83)射出,全反射过程中在所述全反射面(82)形成倏逝场。

3.如权利要求2所述的系统,其特征在于:所述衰减全反射模块(8)截面等腰三角形的底角为20°-60°。

4.如权利要求2所述的系统,其特征在于:还包括光源(11)以产生准直的泵浦光,所述泵浦光照射在数字微镜阵列(12)上从而利用所述数字微镜阵列(12)形成掩膜;或者,通过液晶空间光调制器或者投影仪形成掩膜;

所述掩膜被投影到所述衰减全反射模块(8)的所述入射面(81)上,从而所述衰减全反射模块(8)在所述掩膜的投影照射下形成光生载流子,在所述入射面(81)上对入射的太赫兹波产生调控。

5.如权利要求4所述的系统,其特征在于:所述衰减全反射模块(8)的材料为本征硅,砷化镓或者本征锗。

6.如权利要求4所述的系统,其特征在于:所述泵浦光为紫外光、可见光或者近红外光。

7.如权利要求6所述的系统,其特征在于:所述泵浦光的波长为808nm。

8.如权利要求1或4所述的系统,其特征在于:还包括单像素探测器,使用单像素探测器结合压缩感知算法重建太赫兹光场。

9.如权利要求1所述的系统,其特征在于:

所述飞秒激光器(1)、所述延迟线(3)集成在所述系统的固定端(F);所述太赫兹发射天线(4)、所述衰减全反射模块(8)、所述太赫兹探测天线(6)集成在所述系统的移动端(M);

所述固定端(F)和所述移动端(M)之间的光路通过第一光纤(13)和第二光纤(14)耦合;所述飞秒激光器(1)发出的光被分为两路,其中所述第一光纤(13)中的光经过延迟线(3)被耦合到所述太赫兹发射天线(4),所述第二光纤(14)中的光被耦合到所述太赫兹探测天线(6)。

10.如权利要求9所述的系统,其特征在于:

所述移动端(M)还包括数字微镜阵列(12)、液晶空间光调制器或者投影仪,以向所述衰减全反射模块(8)投影掩膜。

11.如权利要求1或9所述的系统,其特征在于:在所述衰减全反射模块(8)上直接设有样品池(15),所述样品池(15)包括样品池底部(16),所述样品池底部(16)的材质与所述衰减全反射模块(8)的材质相同。

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