[实用新型]一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置。试样台固定装置由固定板与螺钉等部件组成；圆棒试样夹持装置由电机与螺纹套筒等部件组成。本实用新型结构设计巧妙，使用方便，能够同时自动给多根圆棒试样镀膜。在磁控溅射仪内应用本装置同时给多根圆棒试样镀膜，操作简单，自动性高，稳定性强，膜的厚度也比较均匀，且与基体有着良好的结合力。

技术领域

本实用新型属于圆棒试样镀膜领域，具体涉及一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置。

背景技术

目前，各式各样的具有优秀力学性能的薄膜在石油、化工、制药等生产领域具有广泛的应用前景。在实验室制备薄膜并进行力学性能测试之前，薄膜需要先镀在合适的基体上。磁控溅射仪是一种十分先进且技术成熟的镀膜仪器，适用于制备金属、无机物甚至高分子薄膜。已经广泛应用在金属强化膜、半导体太阳能薄膜、磁性器件薄膜甚至陶瓷薄膜等领域。通过磁控溅射镀膜，成膜速度快，薄膜质量高，膜-基结合力强，薄膜成分、结构均匀。但是磁控溅射仪自带的系统一般只适用于具有平面的板块状基体试样镀膜，对于曲面的圆棒试样并不适用，由于存在阴影效应，镀上的膜将会厚度不均匀，这会对后续的力学性能试验造成很严重的影响。而圆棒状试样凭借其自身的优点被广泛的应用于高温蠕变试验、蠕变疲劳试验等一些力学性能试验中，而板块状试样并不适用于这些试验。另外，为了确保数据的有效性，在同一实验条件下，蠕变试验与蠕变疲劳试验需要准备多根镀好膜的圆棒试样。因此，如何开发一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样夹持装置，能够使得磁控溅射仪均匀的给多根圆棒试样同时镀膜已经成为影响具有优秀力学性能的薄膜研发领域的关键性难题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种适用于磁控溅射仪的自动式圆棒试样镀膜装置，以使得磁控溅射仪可以给带有曲面的圆棒试样进行镀膜。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:

一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，包括试样台固定装置和圆棒试样夹持装置；所述圆棒试样夹持装置通过试样台固定装置固定连接在磁控溅射仪试样台的下部；所述圆棒试样夹持装置包括第二电机、第二传动杆、第一传动轮和第二传动轮；所述第二传动杆的一端与第二电机的输出轴固定连接；所述第二传动杆上设有第一传动轮和第二传动轮；所述第一传动轮与第二传动轮之间至少设有两个旋转夹持组件。

所述的一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，所述试样台固定装置包括第一螺母、第一固定板、第一螺钉、第二固定板、第二螺钉、第三固定板、第二螺母和第一连杆；所述第一固定板的一端与第二固定板通过第一螺钉和第一螺母的螺纹连接固定于磁控溅射仪试样台上；所述第一固定板的另一端与第三固定板通过第二螺钉与第二螺母的螺纹连接固定于磁控溅射仪试样台上；所述第二电机通过第一连杆与第一固定板固定连接。

所述的一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，所述旋转夹持组件包括固定座和电机；所述固定座一端固定连接在第一传动轮上，另一端活动连接有螺纹套筒；所述电机一端固定连接在第二传动轮上，另一端固定连接有螺纹套筒。

所述的一种适用于磁控溅射仪的圆棒试样高通量镀膜夹持装置，所述第一传动轮与第二传动轮之间均匀分布设置有四个旋转夹持组件。