[实用新型]一种四氯化锗尾气处理装置有效
申请号: | 201822142773.X | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN209392958U | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 唐安泰;李建平 | 申请(专利权)人: | 昆明汇泉高纯半导材料有限公司 |
主分类号: | B01D50/00 | 分类号: | B01D50/00;B01D53/18;B01D53/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 650300 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 四氯化锗 喷头 尾气处理装置 本实用新型 尾气 分布板 尾气处理技术 隔板 二次处理 充分接触 顶部设置 碱性溶液 净化废气 内壁顶部 尾气处理 箱体内部 处理槽 处理管 进水管 喷淋液 内壁 喷出 净化 | ||
1.一种四氯化锗尾气处理装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的内壁顶部和内壁底部之间固定连接有隔板(20),并且所述隔板(20)的一侧且位于箱体(1)内部的一侧之间设置有分布板(4),所述分布板(4)的顶部设置有进水管(5),并且所述分布板(4)的底部设置有喷头(6),所述隔板(20)的一侧且位于箱体(1)内部的一侧之间并位于喷头(6)的底部设置有过滤网(2),并且所述箱体(1)的一侧侧壁设置有进气管(3),所述进气管(3)的一端贯穿箱体(1)的侧壁并延伸至箱体(1)的内部,并且所述进气管(3)延伸至箱体(1)内部的一端贯穿过滤网(2)并延伸至过滤网(2)的一侧,所述隔板(20)的内部并位于喷头(6)和过滤网(2)之间设置有第一处理管(7),并且所述第一处理管(7)远离喷头(6)的一侧设置有滑动块(16),所述滑动块(16)滑动连接有固定框(15),并且所述滑动块(16)远离第一处理管(7)的一侧与固定框(15)的内壁之间设置有伸缩杆(19),所述伸缩杆(19)的表面设置有弹簧(18),并且所述固定框(15)的底部设置有第二处理管(17),所述第二处理管(17)远离固定框(15)的一端设置有处理槽(11),并且所述隔板(20)远离分布板(4)的一侧与箱体(1)内部的一侧之间并位于固定框(15)的顶部设置有导流板(10),所述导流板(10)之间填充有活性炭吸附层(9),并且所述箱体(1)的顶部并位于导流板(10)的顶部一侧设置有排气管(8)。
2.根据权利要求1所述的一种四氯化锗尾气处理装置,其特征在于:所述箱体(1)的底部两侧均设置有支撑柱(13),并且所述支撑柱(13)的底部固定连接有防滑垫。
3.根据权利要求1所述的一种四氯化锗尾气处理装置,其特征在于:所述导流板(10)的居中处设置有阻流块。
4.根据权利要求1所述的一种四氯化锗尾气处理装置,其特征在于:所述喷头(6)呈环形阵列等距离均匀的分布在分布板(4)的底部。
5.根据权利要求1所述的一种四氯化锗尾气处理装置,其特征在于:所述箱体(1)的侧壁并位于处理槽(11)的内部设置有第一排污口(12),并且所述箱体(1)远离第一排污口(12)的侧壁并位于过滤网(2)的底部设置有第二排污口(14)。
6.根据权利要求1所述的一种四氯化锗尾气处理装置,其特征在于:所述进水管(5)内注入的液体为碱性溶液,并且所述处理槽(11)内部设置有碱性溶液。
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