[实用新型]紧凑型刻蚀上料机有效

专利信息
申请号: 201822143510.0 申请日: 2018-12-19
公开(公告)号: CN209544296U 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 李长英;江玉新 申请(专利权)人: 江阴方艾机器人有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 代理人: 王新爱
地址: 214443 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 支撑台架 带轮 支撑轨道 上料机 伸缩板 刻蚀 本实用新型 转向轮 滑轮 滑动设置 平行设置 伸缩皮带 伸缩气缸 活塞杆 皮带组 皮带 缠绕 停工
【权利要求书】:

1.一种紧凑型刻蚀上料机,所述上料机包含有机架(1),所述机架(1)上设置有传输带,其特征在于:

所述传输带旁设置有伸缩皮带组件(6),所述伸缩皮带组件(6)包含有支撑台架(6.1),所述支撑台架(6.1)的顶部两侧平行设置有支撑轨道(6.1.1),两根支撑轨道(6.1.1)的端部之间滑动设置有伸缩板(6.2),一安装于支撑台架(6.1)上的伸缩气缸(6.2.1)的活塞杆与伸缩板(6.2)相连接,且伸缩气缸(6.2.1)的活塞杆的伸缩方向与伸缩板(6.2)沿支撑轨道(6.1.1)滑动的方向相一致;所述支撑轨道(6.1.1)的两端分别设置有带轮一(6.4)和带轮二(6.5),所述伸缩板(6.2)的底部设置有一滑轮(6.3),所述支撑台架(6.1)上固定有一转向轮(6.6),皮带(6.7)缠绕在带轮一(6.4)、带轮二(6.5)、滑轮(6.3)和转向轮(6.6)之间。

2.如权利要求1所述一种紧凑型刻蚀上料机,其特征在于:所述传输带包含有传输带一(2)和传输带二(4),所述传输带一(2)的传输方向和传输带二(4)的传输方向相互垂直设置;且传输带一(2)旁设置有翻转盘(5),传输带二(4)的传输方向与伸缩皮带组件(6)的传输方向相一致;所述翻转盘(5)的盘面上沿其径向均匀分布有多个插槽(5.1),翻转盘(5)的中心转轴由电机驱动旋转,且翻转盘(5)的中心高度与传输带一(2)的高度相一致。

3.如权利要求2所述一种紧凑型刻蚀上料机,其特征在于:所述传输带二(4)设置于升降台(3)上,所述升降台(3)位于传输带一(2)的下方,所述升降台(3)的顶面平行设置有多个供传输带一(2)嵌入的凹槽(3.1),所述升降台(3)由升降机构驱动进行升降,当升降台(3)上升时,传输带一(2)嵌入凹槽(3.1)内,传输带二(4)高于传输带一(2),当升降台(3)下降时,传输带一(2)脱离凹槽(3.1),传输带二(4)低于传输带一(2)。

4.如权利要求3所述一种紧凑型刻蚀上料机,其特征在于:所述述升降台(3)的侧壁上部和下部分别设置有上排皮带轮(4.1)和下排皮带轮(4.2),所述传输带二(4)绕置于上排皮带轮(4.1)和下排皮带轮(4.2)之间。

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