[实用新型]照明装置及光学检测装置

权利要求书

1.一种照明装置，其特征在于，包括：光源、偏振分束器、偏振合束器、第一照明模式调制单元、第二照明模式调制单元及第三照明模式调制单元，所述光源发出的光束经过所述偏振分束器后分离成两路偏振光并分别进入第一偏振光路及第二偏振光路，第一路偏振光沿着所述第一偏振光路经过所述第一照明模式调制单元后入射至所述偏振合束器，第二路偏振光沿着所述第二偏振光路经过所述第二照明模式调制单元后入射至所述偏振合束器，所述偏振合束器将所述第一偏振光路及所述第二偏振光路合为一条光路以入射至所述第三照明模式调制单元中，其中，所述第一照明模式调制单元、所述第二照明模式调制单元及所述第三照明模式调制单元均通过旋转以切换照明模式。

2.如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述第一照明模式调制单元、所述第二照明模式调制单元及所述第三照明模式调制单元均包括一转盘及周向设置于所述转盘上的多个孔径光阑，至少两个所述孔径光阑不相同，旋转所述转盘以将任一所述孔径光阑切换至光路中。

3.如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述第一偏振光路及所述第二偏振光路上均设置有快门，通过所述快门切换任一路偏振光的开关状态。

4.如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置还包括位置调整单元，所述位置调整单元包括第一反射镜、第二反射镜、第一玻璃平板及第二玻璃平板，通过调整所述第一反射镜、第二反射镜、第一玻璃平板及第二玻璃平板的倾斜角度以调整所述第一偏振光路与所述第二偏振光路的方向。

5.如权利要求4所述的照明装置，其特征在于，所述第一偏振光路及所述第二偏振光路上均设置中继透镜单元，每个所述中继透镜单元包括两个中继透镜。

6.如权利要求5所述的照明装置，其特征在于，所述第一偏振光路与所述第二偏振光路对称设置，所述第一反射镜及所述第一玻璃平板依次设置于所述第一偏振光路的中继透镜单元的两个中继透镜之间；所述第二反射镜及所述第二玻璃平板依次设置于所述第二偏振光路的中继透镜单元的两个中继透镜之间。

7.如权利要求5所述的照明装置，其特征在于，所述第一偏振光路与所述第二偏振光路非对称设置，所述第一反射镜及所述第二反射镜分别设置于所述中继透镜单元的两端，所述第一玻璃平板设置于所述第一偏振光路上的两个所述中继透镜之间，所述第二玻璃平板设置于所述第二偏振光路上的两个所述中继透镜之间。

8.如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述光源包括氙灯、LED、汞灯或卤素灯中的任一种。

9.一种光学检测装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的照明装置、成像单元、承载单元及探测单元，所述照明装置发出的光束被所述成像单元投影至所述承载单元上以形成信号光，所述探测单元接收所述信号光以获取所述承载单元的图形信息。

10.如权利要求9所述的光学检测装置，其特征在于，所述成像单元包括成像物镜，所述成像物镜的数值孔径大于0.4。

11.如权利要求9所述的光学检测装置，其特征在于，所述成像单元还包括视场调整器，所述视场调整器上设置有若干不同孔径的通光孔，移动所述视场调整器以将任一所述通光孔切换至光路中。