[实用新型]一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置

说明书

本实用新型设计了一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，选用同轴电缆接头，将铝合金材料加工成一个圆环状工件，圆环状工件内径大于同轴电缆接头的外径，并且在圆环状工件外侧车削加工出螺纹，将其固定进同轴电缆接头内部，使他们具有轴对称性，并保证圆环状工件底面与探头轴的底面在同一平面内。在圆环状工件和同轴电缆接头的截面粘贴等面积弹性导电橡胶。本实用新型装置实现了导电薄膜材料方块电阻的快速、无损、高灵敏度便捷测量。

技术领域

本实用新型属于电阻测量技术领域，尤其涉及一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置。

背景技术

导电薄膜的方块电阻又称膜电阻、面电阻，简称方阻，是指薄膜状导体任意正方形状对边之间的电阻，在该薄膜厚度不变的情况下它为一定值，不随正方形的面积大小而变化。方电阻的值可以用于表征半导体导电薄膜的导电性能，是研究半导体物理器件不可缺少的量。目前常见的测试方法有霍尔效应法、四探针法及人工铟丝直接测量法。霍尔效应法所用的设备价格昂贵、要求较高、测试成本较大，制作测试电极损坏样品，是一种有损测量方法；四探针法的测量设备虽然普遍，购买成本也较高；虽然人工铟线直接测法比较直观，但在制备测试电极时，需要稀有金属铟，成本较高，并且损坏导电薄膜。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，实现了导电薄膜材料方块电阻的快速、无损、高灵敏度便捷测量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种无损测量导电薄膜方块电阻的装置，包括探头，探头包括探头内轴、探头外壳、圆环状工件和弹性导电橡胶，圆环状工件固定在探头内轴的外部，在圆环状工件和探头内轴的截面粘贴等面积弹性导电橡胶。

按上述技术方案，探头内轴为同轴电缆接头。

按上述技术方案，通过在圆环状工件外侧车削加工出螺纹，将其固定在探头外壳的内部，圆环状工件与探头具有轴对称性，并保证圆环状工件底面与探头内轴的底面在同一平面内。

按上述技术方案，圆环状工件材质为铝合金或黄铜或不锈钢。

按上述技术方案，弹性导电橡胶的体积电阻小于6Ω/cm³。

按上述技术方案，还包括绝缘套筒，绝缘套筒设置在圆环状工件上方，并设在探头内轴和探头外壳之间。

按上述技术方案，探头的两极分别与万用表欧姆挡两极相连。

本实用新型产生的有益效果是：实现了导电薄膜材料方块电阻的快速、无损、高灵敏度便捷测量。本实用新型装置可以小型化，便于携带，可用于测量人员对薄膜材料的分析计算，也可以经改进后用于工业流水线的自动检测，符合社会向智能化发展的趋势，具有广泛的应用前景。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型实施例中方块导电薄膜电极示意图；

图2是本实用新型实施例中探头内部剖面结构示意图；

图3是本实用新型实施例定标结果图；

其中，1.绝缘套筒，2.圆环状工件，3.弹性导电橡胶，4.探头内轴，5.探头外壳。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。