[实用新型]蒸发源装置和共蒸发设备

说明书

本实用新型提供一种蒸发源装置和共蒸发设备，其中蒸发源装置包括：加热装置，所述加热装置用于加热源材料，使所述源材料形成蒸气；蒸气分配装置，所述蒸气分配装置的一端与所述加热装置连通，所述蒸气分配装置上间隔开设有至少两个朝向所述基板的蒸气喷孔，所述蒸气经由所述蒸气喷孔喷射出。这样，蒸气即可沿着蒸气分配装置，经由蒸气喷孔喷射出来。将待沉积的基板固定朝向蒸气喷孔，源材料蒸气即可均匀沉积到基板上，进而提高基板上源材料沉积的均匀性。此外，由于多个蒸气喷孔直接朝向基板喷射源材料蒸气，相对在整个腔室内形成源材料蒸气的沉积方案，减少了源材料浪费。

技术领域

本实用新型涉及加工技术领域，尤其涉及一种蒸发源装置和共蒸发设备。

背景技术

现有的加工技术中，尤其是CIGS薄膜太阳能电池的基板沉积碱金属的工艺中，通常掺杂用到的碱金属材料主要包括钠和钾，对于钠主要采用沉积氟化钠预置层的前掺方式，对于钾主要采用沉积氟化钾的后掺方式，两者的沉积用独立腔室蒸发室，采用点加热源的沉积方式。点加热源的沉积方式容易造成碱金属沉积不均匀。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种蒸发源装置和共蒸发设备，以解决现有沉积方式存在沉积不均匀的技术问题。

为了达到上述目的，本实用新型实施例提供的具体方案如下：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种蒸发源装置，用于向基板沉积源材料，所述蒸发源装置包括：

加热装置，所述加热装置用于加热源材料，使所述源材料形成蒸气；

蒸气分配装置，所述蒸气分配装置与所述加热装置连通，所述蒸气分配装置上间隔开设有至少两个蒸气喷孔，所述蒸气经由所述蒸气喷孔喷射出。

可选的，所述加热装置内设置有坩埚和加热器，所述加热器用于加热所述坩埚，所述蒸气分配装置与所述坩埚连通。

可选的，所述加热装置还包括送料端口，所述送料端口与所述坩埚连通，所述送料端口上盖合有盖板。

可选的，所述蒸气分配装置为石英管。

可选的，所述蒸气喷孔的数量为至少三个，至少三个所述蒸气喷孔等间隔排布。

可选的，全部所述蒸气喷孔均朝向同一平面。

可选的，所述蒸气分配装置与所述加热装置活动连接，用于调节全部所述蒸气喷孔的朝向角度。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种共蒸发设备，包括蒸发室以及第一方面中任一项所述的蒸发源装置；

所述蒸发源装置设置于所述蒸发室内，所述蒸发室内还设置有用于承载基板的承载组件，所述蒸发源装置的所述蒸气喷孔朝向所述基板。

可选的，所述承载组件包括活动轴和夹持件，所述活动轴的一端固定设置于所述蒸发室内，所述活动轴的另一端与所述夹持件连接，所述活动轴用于带动所述夹持件将所述基板固定在朝向所述蒸气喷孔的位置。

可选的，所述夹持件与所述蒸气喷孔的距离范围为20厘米至30厘米。

本实用新型实施例提供的蒸发源装置，包括加热装置和蒸气分配装置，将与加热装置连通的蒸气分配装置上间隔开设至少两个蒸气喷孔。通过在加热装置内加热源材料形成蒸气，这样，蒸气即可沿着蒸气分配装置，经由蒸气喷孔喷射出来。将待沉积的基板固定朝向蒸气喷孔，源材料蒸气即可均匀沉积到基板上，进而提高基板上源材料沉积的均匀性。此外，由于多个蒸气喷孔直接朝向基板喷射源材料蒸气，相对在整个腔室内形成源材料蒸气的沉积方案，减少了源材料浪费。

附图说明