[实用新型]一种氧化铝陶瓷桶内壁抛光装置

说明书

本实用新型公开了一种氧化铝陶瓷桶内壁抛光装置，包括基座、支撑座、第一旋转轴、夹紧机构、垂直导轨、滑块、第二旋转轴、抛光筒和动力装置，支撑座与基座固定，第一旋转轴与支撑座转动连接，夹紧机构与第一旋转轴固定，垂直导轨与基座滑动连接，滑块与垂直导轨滑动连接，第二旋转轴与滑块转动连接，抛光筒与第二旋转轴固定，所述抛光筒外壁上设有抛光织物。本实用新型提供了一种氧化铝陶瓷桶内壁抛光装置，可以对高纯氧化铝精密陶瓷的整个规则和不规则的内壁进行有效抛光，具有结构简单，制造成本低，操作方便，加工效率高，产品内壁抛光均匀等优点。

技术领域

本实用新型涉及氧化铝陶瓷抛光技术领域，尤其是涉及一种氧化铝陶瓷桶内壁抛光装置。

背景技术

我国半导体行业最近几年发展速度非常快，目前全国已经有上百家半导体的设计和生产厂家，但半导体设备陶瓷部件的生产在国内仍占比重较小，很多技术方面问题没有得到有效解决，尤其对于陶瓷桶件加工处理。由于高纯氧化铝具有很高的硬度，莫氏硬度达到9，仅次于金刚石，因此高纯氧化铝的精密加工，只能采用磨削的方式进行。也是由于其高硬度，使其抛光也变得较为困难。高纯氧化铝精密陶瓷桶内壁的抛光，目前还没有很好的方法，主要是通过人工进行手工打磨，这种方法存在抛光不均匀，粗糙度不易控制等缺点。人工进行抛光打磨速度慢、效率低，对精密陶瓷桶件的生产成本也会增加，在修整时粉尘四处飞扬从而影响操作人员的身体健康和造成环境污染。

中国专利申请公开号CN104385072A，公开日为2015年03月04日，名称为“一种曲面抛光机”，公开了一种曲面抛光机，它包括立柱、横梁，设有车轮的抛光台车，链条链轮机构，钢丝绳，变速电机和磨头，所述立柱有两个，通过焊接并合在一起，所述立柱前后两侧面分别通过设有滑轮的挂板组和两个横梁相连，所述挂板组由竖向挂板和旋转挂板组成；所述立柱下端通过电动回转支撑固定在抛光台车上；所述每个横梁的一端分别安装粗磨头、细磨头；所述链条链轮机构和钢丝绳与竖向挂板相连；所述竖向挂板通过齿圈和旋转挂板相连；所述齿圈与电机相连。但是该装置结构过于复杂，且不适用于氧化铝陶瓷桶内壁的抛光。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术中的不足，提供一种氧化铝陶瓷桶内壁抛光装置，可以对高纯氧化铝精密陶瓷的整个规则和不规则的内壁进行有效抛光，具有结构简单，制造成本低，操作方便，加工效率高，产品内壁抛光均匀，粗糙度稳定等优点。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种氧化铝陶瓷桶内壁抛光装置，包括基座、支撑座、第一旋转轴、夹紧机构、垂直导轨、滑块、第二旋转轴、抛光筒和动力装置，支撑座与基座固定，第一旋转轴与支撑座转动连接，夹紧机构与第一旋转轴固定，垂直导轨与基座滑动连接，滑块与垂直导轨滑动连接，第二旋转轴与滑块转动连接，抛光筒与第二旋转轴固定，所述抛光筒外壁上设有抛光织物，抛光筒可以移动对准夹紧机构；所述动力装置包括第一动力组件、第二动力组件、第三动力组件和第四动力组件，第一动力组件驱动垂直导轨沿基座滑动，第二动力组件驱动滑块沿垂直导轨滑动，第三动力组件驱动第二旋转轴相对滑块转动，第四动力组件驱动第一旋转轴相对支撑座转动。

抛光时将产品固定到夹紧机构上，通过上下和左右移动滑块和垂直导轨来定位抛光筒的位置，从而使可以使抛光筒置于产品内得合适位置；抛光筒快速转动，对产品内壁进行抛光，产品在第一旋转轴的带动下相对缓慢的转动，使需要抛光的内壁均匀的与光织物能接触，对产品内壁进行均匀的抛光。抛光织物用胶水粘合在抛光筒外壁上，可以对产品的内壁进行有效抛光。抛光织物表面喷涂、附着有抛光粉，抛光粉优选采用金刚石粉，也可以选择立方氮化硼粉、刚玉粉和碳化硅粉。在该装置中产品本身的缓慢转动配合抛光筒在平移机构上的移动，可以使装置对规则和不规则的产品进行抛光，且整个内壁抛光均匀、完整，同时可以控制其表面粗糙度。