[实用新型]一种防止有机物污染产线的监测装置及半导体生产设备

权利要求书

1.一种防止有机物污染产线的监测装置，其特征在于，包括一信号发生器、一信号检测器，所述信号发生器设置于一待检测物上方，所述信号检测器设置于对应所述信号发生器的位置；

所述信号检测器与一控制器连接，所述控制器与一动作单元连接。

2.根据权利要求1所述的防止有机物污染产线的监测装置，其特征在于，所述信号发生器对待检测物发射信号，所述信号检测器接收所述待检测物反射的信号。

3.根据权利要求1所述的防止有机物污染产线的监测装置，其特征在于，所述信号发生器为红外线信号发生器，所述信号检测器为红外线信号检测器，所述红外线信号发生器发射红外光对所述待检测物进行红外扫描，所述红外线信号检测器接收所述待检测物反射的信号。

4.根据权利要求1所述的防止有机物污染产线的监测装置，其特征在于，包括一承载面，所述待检测物为晶圆，所述晶圆检测时被放置于所述承载面上。

5.根据权利要求1所述的防止有机物污染产线的监测装置，其特征在于，所述动作单元为机械手臂。

6.一种半导体生产设备，其特征在于，包括一防止有机物污染产线的监测装置，该防止有机物污染产线的监测装置包括一信号发生器、一信号检测器，所述信号发生器设置于一待检测物上方，所述信号检测器对应所述信号发生器设置。

7.根据权利要求6所述的半导体生产设备，其特征在于，进一步包括承载面，所述待检测物为晶圆，所述晶圆检测时被放置于所述承载面上。

8.根据权利要求7所述的半导体生产设备，其特征在于，进一步包括晶圆锁定装置和/或晶圆暂存装置，所述承载面设置于所述晶圆锁定装置和/或晶圆暂存装置。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的半导体生产设备，其特征在于，进一步包括冷却装置，所述冷却装置包括一冷却腔体，所述待检测物为所述冷却腔体。