[实用新型]压电传感芯片及压电传感器有效
| 申请号： | 201822152581.7 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209624463U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 周连群;郭振;张威;李传宇;姚佳;张芷齐;李金泽;唐玉国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327;G01N27/30;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 成珊 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 压电材料层 压电传感芯片 压电传感器 压电芯片 压电材料层表面 基频谐振频率 本实用新型 厚度设置 减薄处理 谐振频率 灵敏度 电极层 保证 夹持 减薄 压合 与非 制备 | ||
1.一种压电传感芯片，其特征在于，包括：压电材料层，以及压合设置在所述压电材料层表面的电极层；其中，所述压电材料层划分为测量区域与非测量区域，所述测量区域的厚度等于或者小于所述非测量区域的厚度。
2.根据权利要求1所述的压电传感芯片，其特征在于，所述电极层包括分别设置在所述压电材料层两侧的第一子电极层和第二子电极层。
3.根据权利要求2所述的压电传感芯片，其特征在于，所述第一子电极层的电极引出端和所述第二子电极层的电极引出端分别设置在所述压电材料层的两侧。
4.根据权利要求2所述的压电传感芯片，其特征在于，所述第一子电极的电极引出端和所述第二子电极层的电极引出端设置在所述压电材料层的同侧。
5.根据权利要求2所述的压电传感芯片，其特征在于，所述压电传感芯片还包括具有开口的介质膜层，所述介质膜层覆盖所述压电材料层，所述电极层从所述介质膜层的开口处裸露出。
6.根据权利要求1所述的压电传感芯片，其特征在于，所述测量区域的厚度为5μm-350μm。
7.一种压电传感器，其特征在于，包括：
权利要求1至6中任一项所述的压电传感芯片；
封装层，所述封装层具有通孔，所述压电传感芯片固定设置在所述通孔处。
8.根据权利要求7所述的压电传感器，其特征在于，所述封装层的通孔的边沿处设置有定位边。
9.根据权利要求8所述的压电传感器，其特征在于，所述封装层的边沿处具有至少一个定位孔，和/或，至少一个定位凹槽。
10.根据权利要求7所述的压电传感器，其特征在于，所述封装层为印刷电路板，所述压电传感芯片的电极与所述印刷电路板的引线电连接。
11.根据权利要求10所述的压电传感器，其特征在于，所述封装层上开设有两个连接孔，所述连接孔内填充有导电浆料，所述压电传感芯片的电极通过所述连接孔与所述印刷电路板的引线电连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司，未经中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822152581.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水体水质检测设备
- 下一篇：一种电化学检测芯片和电化学传感器
