[实用新型]一种溅射靶材裁板夹具

权利要求书

1.一种溅射靶材裁板夹具，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）上安装有3个以上的固定底座（4），所述固定底座（4）上固定连接有固定承接块（9），所述固定底座（4）上滑动连接有活动承接块（10），所述固定底座（4）上设置有调节组件，所述调节组件用于调节所述固定承接块（9）与所述活动承接块（10）之间的距离，所述固定底座（4）上可拆卸的固定连接有托举件；

当溅射靶材（12）安装在所述工作台（1）上时，所述固定承接块（9）与所述活动承接块（10）抵接所述溅射靶材（12）的两侧，所述托举件抵接所述溅射靶材（12）靠近所述工作台（1）的面。

2.根据权利要求1所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述固定承接块（9）和所述活动承接块（10）均固定连接有限位台阶（11），所述限位台阶（11）远离所述工作台（1）的面抵接所述溅射靶材（12）。

3.根据权利要求2所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述限位台阶（11）的长度大小大于所述固定底座（4）在所述限位台阶（11）长度方向上的长度大小。

4.根据权利要求1所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述托举件包括托举杆（14）和固定连接在所述托举杆（14）上的托举盘（16），托举杆（14）可拆卸的固定连接在所述固定底座（4）上，所述托举盘（16）抵接所述溅射靶材（12）靠近所述工作台（1）的一面。

5.根据权利要求4所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述固定底座（4）上固定连接有调节螺柱（13），所述托举杆（14）套接在所述调节螺柱（13）上，所述调节螺柱（13）上螺纹连接有调节螺母（15），所述调节螺母（15）将所述托举杆（14）抵紧在所述固定底座（4）上。

6.根据权利要求4所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述托举盘（16）接触所述溅射靶材（12）的面设置为平滑面。

7.根据权利要求1所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述调节组件包括固定连接在固定底座（4）上的抵接块（5）和滑动连接在固定底座（4）上的定位块（6），所述固定承接块（9）与所述抵接块（5）固定连接，所述活动承接块（10）与所述定位块（6）固定连接，所述抵接块（5）上转动连接有螺纹柱（7），所述螺纹柱（7）与所述定位块（6）螺纹连接，所述螺纹柱（7）穿过所述抵接块（5）的一端固定连接有旋转部（8）。

8.根据权利要求1所述的溅射靶材裁板夹具，其特征在于：所述工作台（1）上开设有安装滑槽（2），所述固定底座（4）固定连接有滑移块（3），所述滑移块（3）与所述安装滑槽（2）形状匹配并滑动连接。