[实用新型]一种惰性气体纯化器

说明书

本实用新型公开了一种惰性气体纯化器，包括纯化器本体和加热装置，纯化器本体顶部设有气体输入管道，纯化器本体底部设有气体输出管道，加热装置为陶瓷加热圈，陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘，陶瓷加热圈的气体入口与气体输入管道相连接，陶瓷加热圈的气体出口连接催化氧化器，催化氧化器与水冷装置相连接，水冷装置连接脱氧器，脱氧器连接气体输出管道。本实用新型设置绝热棉进一步起到绝热作用，绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全，防止高温或者触电事故，而且通过催化氧化能够实现较高纯气体的批量生产，产业化成本低。

技术领域

本实用新型属于气体纯化领域，具体为一种惰性气体纯化器。

背景技术

现有气体纯化技术原理主要有催化氧化、物理吸附、化学吸附。其中催化氧化需要将气体加热至一定的温度，催化剂才能将杂质气体进行催化氧化；物理吸附大多采用分子筛吸附，能有效去除杂质CO 2 、H 2 O，纯化进程在高温下可逆，而且可以进行分子筛再生；化学

吸附则利用杂质中气体与纯化塔内填料发生化学反应，除去杂质。多数气体纯化设备只适用于纯化单一种类气体，而不适用于多种气体的纯化。

现如今，半导体、电子、航空等领域对气体的纯度要求较高，需要大批量的超高纯电子级气体。空分或化学反应制造的气体纯度很难满足生产需求，半导体、电子领域用气多数为经净化后的瓶装气体。目前多数净化装置只能净化单一气体，很难满足多种气体的净化，对于多元化气体生产厂家，采购多台设备净化气体，一定程度上购买成本较高，且占地面积较大，想实现生产线式净化较难。这就导致净化效率较低，气体净化只适用于小批量特殊气体的净化，而对于超高纯气体批量化生产显得尤为艰难。

发明内容

本实用新型旨在解决上述缺陷，提供了一种惰性气体纯化器。

为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种惰性气体纯化器，包括纯化器本体和加热装置，所述纯化器本体顶部设有气体输入管道，纯化器本体底部设有气体输出管道，所述加热装置为陶瓷加热圈，陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘，陶瓷加热圈的气体入口与气体输入管道相连接，陶瓷加热圈的气体出口连接催化氧化器，所述催化氧化器与水冷装置相连接，所述水冷装置连接脱氧器，所述脱氧器连接气体输出管道。

进一步地，陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉，绝热棉外部设置有纯化罐外壳。

进一步地，绝热棉与纯化罐外壳之间设置有真空间隙。

进一步地，陶瓷加热圈的气体入口设置有压力表和流量计。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设置绝热棉进一步起到绝热作用，绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全，防止高温或者触电事故，而且通过催化氧化能够实现较高纯气体的批量生产，产业化成本低。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

一种惰性气体纯化器，包括纯化器本体1和加热装置2，纯化器本体1顶部设有气体输入管道3，纯化器本体1底部设有气体输出管道4，加热装置2为陶瓷加热圈，陶瓷加热圈安装在纯化器本体1侧壁外缘，陶瓷加热圈的气体入口与气体输入管道3相连接，陶瓷加热圈的气体出口连接催化氧化器5，催化氧化器5与水冷装置6相连接，水冷装置6连接脱氧器7，脱氧器7连接气体输出管道4。

在本实施例中，陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉8，绝热棉8外部设置有纯化罐外壳9。