[实用新型]一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置

说明书

本实用新型涉及光学测量技术领域，且公开了一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有同轴光源，所述同轴光源的顶部固定安装有顶板，所述底部的顶部且位于同轴光源的右侧固定安装有限束板。该应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置，通过设置电动伸缩杆，电动伸缩杆通电推动第一夹板，第一夹板推动放置架，放置架推动第二夹板，第二夹板推动推杆在滑槽内上下运动，限位杆把推杆卡于滑槽内，使推杆在上下运动的时候不会滑出滑槽，把石英波片放在放置架内，让放置架在测量过程中可以上下运动，从而可以测量石英玻片表面各处的厚度，使得测量结果更加精确。

技术领域

本实用新型涉及光学测量技术领域，具体为一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置。

背景技术

学测量是光电技术与机械测量结合的高科技，借用计算机技术，可以实现快速，准确的测量，方便记录，存储，打印，查询等等功能，据介绍光学测量主要应用在现代工业检测，主要检测产品的形位公差以及数值孔径等是否合格。

目前测量石英玻片是用一特定波长λ的平行光束作为光源，用光学系统来确定玻片的光轴方向并测得玻片对该特定波长λ的相位延迟量，已有的石英玻片厚度的测量必有两步一是检测前需定出光学玻片的光轴方向，再对其相位延迟量进行测量，然而准确地确定光轴并不容易，故而提出一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置，具备多面测量和测量准确等优点，解决了已有的石英玻片厚度的测量必有两步一是检测前需定出光学玻片的光轴方向，再对其相位延迟量进行测量，然而准确地确定光轴并不容易的问题。

（二）技术方案

为实现上述多面测量和测量准确的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有同轴光源，所述同轴光源的顶部固定安装有顶板，所述底部的顶部且位于同轴光源的右侧固定安装有限束板，所述底板的顶部且位于限束板的右侧固定安装有起偏器，所述底板的内部且位于起偏器的右侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶部固定安装有第一夹板，所述第一夹板的顶部活动安装有放置架，所述放置架的顶部活动安装有第二夹板，所述底板的顶部且位于放置架的右侧固定安装有检偏器，所述底板的顶部且位于检偏器的右侧固定安装有分束镜，所述顶板的内部且位于分束镜的上方固定安装有光强度检测器，所述底板的顶部且位于分束镜的右侧固定安装有微型光谱仪，所述底板的顶部且位于微型光谱仪的右侧固定安装有控制板，所述控制板的右侧固定安装有外接线，所述第二夹板的顶部固定安装有推杆，所述顶板的底部且位于推杆的上方开设有滑槽，所述推杆插接于滑槽内，所述推杆的顶部固定安装有限位杆。

优选的，所述限束板的左侧开设有贯穿限束板的通光孔，所述起偏器为尼科耳棱镜。

优选的，所述第一夹板的顶部和第二夹板的底部开设有凹槽，所述放置架卡接于两侧凹槽内。

优选的，所述分束镜与底板的夹角为四十五度，所述推杆的横向长度小于滑槽的横向长度。

优选的，所述限位杆左右两侧均固定安装有滑轮，所述限位杆的横向长度大于滑槽开口处的横向长度。

优选的，所述底板的正面且位于控制板的下方固定安装有电源接口，且电源接口与控制板电连接，所述控制板与同轴光源、起偏器、电动伸缩杆、检偏器、光强度检测器和微型光谱仪电连接。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种应用于测量仪器光学的石英玻片加工用厚度检测装置，具备以下有益效果：