[实用新型]一种真空镀膜卧式炉内壁结构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜卧式炉内壁结构，包括镀膜炉壁，镀膜炉壁包括桶基层、不锈钢隔热屏层和钼隔热屏层，不锈钢隔热屏层的外侧和内侧分别与桶基层无缝、钼隔热屏层无缝连接，桶基层内部设有水冷夹层和隔热夹层，钼隔热屏层内壁上均匀安装有若干半球凸块，且钼隔热屏内壁和半球凸块侧面均涂有陶瓷涂料层，半球凸块与小型工件接触面积极小，工件镀膜效率高，解决了靶及靶表面落料问题，大大提高产品合格率，多个不锈钢隔热屏、多个钼隔热屏和隔热夹层内的隔热物质叠加能起到很好地隔热作用，使散发到外界的热量降低到最小，极大地降低了热量损失，从而使热量更好地得以保存，节省了真空镀膜的电功率和成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体为一种真空镀膜卧式炉内壁结构。

背景技术

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

卧式真空镀膜炉可加工的材料包括ABS、PS、PP、PVC、尼龙、金属、玻璃、TPU等，镀制效果有：普通电镀凉面、哑面、工艺电镀皱纹、拉丝、雨滴、七彩等。

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长) 形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

但是，现有的卧式真空镀膜炉存在以下缺陷：

(1)炉壁结构简单，保温效果不好，因此消耗热能较大，镀膜消耗电功率变大，成本高；

(2)在对小型工件镀膜时，炉壁经常会使工件的某个面被遮挡而得不到镀膜，镀膜效率低，且工件镀膜完毕后，容易与炉壁接触摩擦而脱落膜料，从而造成镀膜不完整。

发明内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种真空镀膜卧式炉内壁结构，半球凸块与小型工件接触面积极小，工件镀膜效率高，解决了靶及靶表面落料问题，大大提高产品合格率，多个不锈钢隔热屏、多个钼隔热屏和隔热夹层内的隔热物质叠加能起到很好地隔热作用，使散发到外界的热量降低到最小，极大地降低了热量损失，从而使热量更好地得以保存，节省了真空镀膜的电功率和成本，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种真空镀膜卧式炉内壁结构，包括镀膜炉壁，所述镀膜炉壁包括桶基层、不锈钢隔热屏层和钼隔热屏层，所述的不锈钢隔热屏层的外侧与桶基层无缝连接，且不锈钢隔热屏层内侧与钼隔热屏层无缝连接；

所述桶基层内部设有水冷夹层和隔热夹层，所述隔热夹层位于水冷夹层的外侧，所述钼隔热屏层内壁上还均匀安装有若干半球凸块，且钼隔热屏内壁和半球凸块侧面均涂有陶瓷涂料层。

进一步地，所述不锈钢隔热屏层由-层环形的不锈钢隔热屏采用冲压工艺而制成，所述钼隔热屏层由-层环形的钼隔热屏采用冲压工艺而制成。

进一步地，所述水冷夹层的顶端和底端分别连接有出水口和进水口，所述出水口和进水口上均安装有水孔堵块。

进一步地，所述隔热夹层内填充有隔热棉和气凝胶毡。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：