[实用新型]一种靶材焊接用套筒

说明书

本实用新型公开一种靶材焊接用套筒，涉及靶材钎焊技术领域，其包括配合套设于靶材上的第一套管，第一套管的一端可拆卸连接有第二套管，第二套管的外径大于第一套管的内径，第二套管配合套设于背管上，第一套管内壁设置有同轴的密封圈，密封圈的第二套管的端部抵接，密封圈的内径小于背管的外径，且密封圈的外径大于靶材的内径。本实用新型具有固定背管和靶材，准确定位靶材和背管的相对位置，并且在底部形成密封，从而可以进行钎焊操作，提高钎焊的可操作性。

技术领域

本实用新型涉及靶材钎焊技术领域，尤其是涉及一种靶材焊接用套筒。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在背管上形成各种功能薄膜的溅射源。

参照图1，示出了靶材5和背管6的安装关系，其中靶材5和背管6分别呈管状设置，且背管6套设于靶材5内，且背管6的外侧壁与靶材5的内壁间隙设置，从而形成一容纳腔，然后在背管6上套设一密封套，以封闭容纳腔的一开口，继而向容纳腔的另一开口灌入融化的铟，待铟凝固后形成一连接背管6和靶材5的焊接层4。

但是，利用密封套使背管6与靶材5相对固定时，由于密封套的易形变性，容易导致靶材5和背管6的相对位置发生变化，使得靶材和背管的位置不易固定，并且焊接层4的同心度不符合要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种靶材焊接用套筒，固定背管和靶材，准确定位靶材和背管的相对位置，并且在底部形成密封，从而可以进行钎焊操作，提高钎焊的可操作性。

本实用新型的目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种靶材焊接用套筒，包括配合套设于靶材上的第一套管，第一套管的一端可拆卸连接有第二套管，第二套管的外径大于第一套管的内径，第二套管配合套设于背管上，第一套管内壁设置有同轴的密封圈，密封圈的第二套管的端部抵接，密封圈的内径小于背管的外径，且密封圈的外径大于靶材的内径。

采用上述技术方案，在安装靶材和背管时，先将第二套管相对固定于第一套管的一端，然后可以将密封圈套设于背管的一端上，且由于密封圈的内径小于背管的外径，从而给密封圈的内壁能与背管外侧壁抵紧，然后将背管的靠近密封圈的一端依次穿过第一套管以及第二套管，从而使密封圈限位于第二套管与第一套环的连接端部处，然后将靶材套在背管上并卡入第一套管内至靶材与密封圈抵紧，并在靶材自重下压紧密封圈，从而给对背管和靶材之间的容纳腔起到了封闭作用，然后在容纳腔远离密封圈的一端灌入融化的铟，以焊接背管和靶材。通过设置第一套管和第二套管，从而对套管和靶材的相对位置起到了限制的效果，以避免靶材相对于背管晃动，提高了其定位准确性。

本实用新型进一步设置为：第一套管内壁开设有隔离腔，隔离腔沿第一套管周向设置。

采用上述技术方案，由于在安装背管和靶材之前，需要将靶材和背管加热至预设温度，通过设置隔离腔，起到保温的效果；在铟的凝固过程中，可以打开隔离腔，以加快焊接层的形成速度，从而提高整体的工作效率。

本实用新型进一步设置为：隔离腔的宽度为1.8mm~2.2mm。

采用上述技术方案，将隔离腔的宽度设置为1.8mm~2mm之间，不仅保证了隔离腔的保温效果，还限制了第一套管的体积。

本实用新型进一步设置为：第二套管的外壁固定有环形块，环形块上设置有若干螺钉，螺钉穿过环形块并与第一套管螺纹连接。

采用上述技术方案，将第一套环正对第二套管，且二者的轴线重合，使螺栓先穿过环形块然后与第一套管螺纹连接，从而实现了第一套管和第二套管的可拆卸安装，具有结构简单、操作方便的优点。

本实用新型进一步设置为：第二套管远离第一套管的一端设置有横板，横板远离第二套管的面与第二套管的轴线垂直。