[实用新型]一种平衡磁场溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201822169154.X | 申请日： | 2018-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN209508395U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 申屠江民;祝宇;龚阳 | 申请（专利权）人： | 浙江莱宝科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321016 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极靶材 磁极 磁钢 溅射镀膜装置 平衡磁场 导磁块 长方形板状结构 本实用新型 磁场耦合 镀膜效率 水平设置 磁钢座 上表面 拱形 靶材 磁场 | ||
1.一种平衡磁场溅射镀膜装置，包括：水平设置的阴极靶材(2)、磁钢(1)与基片(3)，所述阴极靶材(2)为长方形板状结构，所述基片(3)设在阴极靶材(2)上方50-100mm的范围内，阴极靶材(2)下方设置有磁钢(1)，所述磁钢(1)包括磁钢座与磁极，所述磁钢(1)在阴极靶材(2)上表面形成拱形磁场；
其特征在于，在所述磁极下方设置有导磁块(4)。
2.根据权利要求1所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，磁钢(1)的两端设置有两条N极的磁极,在磁钢(1)的正中间位置设有一条S极的磁极，所述导磁块(4)设置于所述S极磁极的正下方和磁钢(1)两端的N极磁极的正下方。
3.根据权利要求2所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁钢(1)的宽度为150mm，所述靶材的宽的跨度为200mm，所述N极磁极在靶面上的投影的宽度为10mm，所述S极磁极在靶面上的投影的宽度为20mm，所述N极磁极与S极磁极高度均为30mm，所述导磁块(4)为12mm厚的铁块，且靶面上方平行磁场的强度为480-550高斯。
4.根据权利要求3所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁钢(1)长的跨度为1114mm，所述两端的N极磁极长的跨度设置为1091mm，缩减S极的磁极长的跨度为1044mm。
5.根据权利要求3所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁钢(1)下方连有一双向电机，所述双向电机移动距离为+/-18mm。
6.根据权利要求1所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁场采用双跑道结构，在磁钢(1)的两端设置为两条N极的磁极,在磁钢(1)的正中间位置另外设计为一条N极的磁极，在所述正中间位置与两端位置的N极的正中间另外再设两条S极电极，所述导磁块(4)设置于所述S极磁极的正下方和磁钢(1)四周边缘位置的正下方。
7.根据权利要求6所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁钢(1)的宽度为150mm，所述靶材的宽的跨度为200mm，所述两端的N极磁极在靶面上的投影的宽度为10mm，所述S极磁极与中间位置的N极在靶面上的投影的宽度为20mm，所述N极磁极与S极磁极高度均为30mm，所述磁钢下方设有导磁块，所述导磁块(4)为12mm厚的铁块，且靶面上方平行磁场的强度为480-550高斯。
8.根据权利要求7所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁钢(1)下方连有一双向电机，所述双向电机移动距离为+/-18mm。
9.根据权利要求7所述的平衡磁场溅射镀膜装置，其特征在于，所述磁钢(1)长的跨度为1114mm，所述两端的N极磁极长的跨度设置为1091mm，缩减S极与中间的N极磁极长的跨度为1044mm。
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