[实用新型]一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置有效
| 申请号： | 201822173409.X | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209167813U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 杨晓波 | 申请（专利权）人： | 石家庄市尊享电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 苏友娟 |
| 地址： | 050000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 连通 烘烤装置 分流管 光阻液 凝固 本实用新型 箱体内壁 分流板 固定板 恒温箱 烘烤 凝固技术 凝固效率 受热均匀 转动连接 左右两侧 内表面 底端 结块 箱门 覆盖 | ||
1.一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)的外表面转动连接有箱门(2)，其特征在于：所述箱体(1)内壁的左右两侧之间固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的内表面固定连接有芯片(4)，且芯片(4)设置有三个，所述芯片(4)的顶部连通有分流管(5)，所述分流管(5)的底端连通有分流板(6)，所述分流板(6)的顶部连通有恒温箱(7)，箱体(1)内壁的上方固定连接有层板(8)，所述层板(8)的底部与恒温箱(7)的顶部连通，所述恒温箱(7)的顶部固定连接有恒温管(9)，所述恒温管(9)的右侧与箱体(1)内壁的左侧之间连通有输液管(10)，所述箱体(1)内壁的右侧固定连接有烘烤扇(11)。
2.根据权利要求1所述的一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，其特征在于：所述输液管(10)的右端且位于箱体(1)的右侧连通有液压泵(12)，所述液压泵(12)的右侧连通有阻液箱(13)。
3.根据权利要求2所述的一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，其特征在于：所述阻液箱(13)的内部固定连接有底板(14)，所述底板(14)的左侧与箱体(1)的右侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，其特征在于：所述箱体(1)内壁的左侧固定连接有电机(15)，所述电机(15)输出轴的一端固定连接有转动杆(16)，所述转动杆(16)的外表面固定连接有第一转动齿(17)，所述箱体(1)内腔的底部固定连接有收集槽(22)。
5.根据权利要求4所述的一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，其特征在于：所述第一转动齿(17)的外表面啮合有第二转动齿(18)，所述第二转动齿(18)的底部固定连接有吊杆(19)，所述吊杆(19)的外表面转动连接有固定架(20)。
6.根据权利要求5所述的一种可提高凝固率的芯片光阻液用烘烤装置，其特征在于：所述固定架(20)的左右两侧分别与箱体(1)内部的左右两侧固定连接，所述吊杆(19)的底端固定连接有恒温搅拌器(21)。
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