[实用新型]硅片传输分选装置

说明书

本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供一种硅片传输分选装置，包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机。传输线提升机的输出端连接于分选传输机构。分选传输机构包括两分选传输链，两分选传输链均具有多个分选工位，第一交叉传输机构包括两第一交叉传输链。来料晶体硅片由来料传输机构传输至第一交叉传输机构，并传输至对应的分选工位上，当分选传输机构沿竖直方向上上移，来料晶体硅片沿分选传输链传输至其余的分选工位。当分选传输机构沿竖直方向上下移，各晶体硅片传输至对应第二交叉传输链上。该硅片传输分选装置实现来料晶体硅片由一路传输变成多路传输，分选转运效率更高。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种硅片传输分选装置。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展，对其生产过程中的自动化程度以及清洁度也要求越来越高。例如，在晶体硅片的生产制造过程中，通常需要专用的输送机构进行传输。在工序与工序之间通常需要进行转运分选，目前，大多采用人工辅助操作进行分选，即人为地取放晶体硅片。这样，导致分选效率低。因此，亟需解决晶体硅片在工序之间进行转运分选时因采用人工分选而导致的效率低的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的提供一种硅片传输分选装置，旨在解决晶体硅片在工序之间进行转运分选时因采用人工分选而导致的效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：硅片传输分选装置，包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个沿硅片传输方向并排设置的第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机，所述传输线提升机的输出端连接于所述分选传输机构且可沿竖直方向升降移动所述分选传输机构，所述分选传输机构包括平行且间隔设置的两分选传输链，两所述分选传输链均具有多个位置对应的分选工位，所述第一交叉传输机构包括平行且间隔设置的两第一交叉传输链，所述第一交叉传输机构的两所述第一交叉传输链设于其中一所述分选工位处且位于所述分选传输链的一侧，所述第一交叉传输链的传输端面高于所述分选传输链的传输端面，两所述来料传输机构分别布设于所述第一交叉传输机构的相对两端，各所述第二交叉传输机构均包括平行且间隔设置的两第二交叉传输链，各所述第二交叉传输机构的两所述第二交叉传输链分别设于剩余的所述分选工位处且均位于所述分选传输链的另一侧，各所述第二交叉传输链的传输端面均低于所述分选传输链的传输端面。

具体地，所述分选传输机构包括底板、多个第一侧立板、多个与所述第一侧立板相对应的第二侧立板、两所述分选传输链以及分选驱动电机，各所述第一侧立板沿垂直于硅片传输方向间隔地立设于所述底板上，各所述第二侧立板平行于对应所述第一侧立板且立设所述底板上，其中一所述分选传输链安装于各所述第一侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第一输出端，另一所述分选传输链安装于各所述第二侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第二传输端，各所述第一侧立板于所述分选工位处均开设有两并排设置的第一凹槽，各所述第二侧立板于所述分选工位处均开设有与两所述第一凹槽相对应的两第二凹槽，各所述交叉传输机构的一端设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，所述传输线提升机的输出端安装于所述底板上且可沿竖直方向升降所述底板。

具体地，所述第一交叉传输机构包括第一底座、第一支撑板、第二支撑板、两所述第一交叉传输链以及第一交叉驱动电机，所述第一支撑板和所述第二支撑板分别立设于所述第一底座的两端，所述第一交叉驱动电机安装于所述第一底座上且位于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间，所述第二支撑板包括安装于所述第一底座上的第一支架以及垂直连接于所述第一支架的第一延伸板，所述第一延伸板伸出至所述第一底座的外部，两所述第一交叉传输链分别安装于所述第一支撑板和所述第一延伸板相对的两侧且均绕于所述第一交叉驱动电机的输出端，所述第一延伸板设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，并且，所述第一延伸板平行于所述底板设置。