[实用新型]一种液态源的储存装置有效
| 申请号： | 201822177492.8 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209922073U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 史丽萍;徐长坡;陈澄;李亚哲;陈凯;谢依烨;陈春江;梁效峰;杨玉聪;王浩 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B65D90/02 | 分类号： | B65D90/02;B65D88/54;B65D90/48 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 液态源 源罐 加厚 补液管 上盖 不锈钢 本实用新型 储存装置 补充液 出口管 罐表面 进液管 铁氟龙 易清洗 平滑 内置 储存 穿过 腐蚀 保证 清洁 | ||
【权利要求书】：
1.一种液态源的储存装置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的两端设有两个加厚部，所述加厚部之间的凹槽上设有补液管，所述源罐设有上盖，所述上盖上设有进液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。
2.根据权利要求1所述的一种液态源的储存装置，其特征在于：所述石英罐内设有液位计，所述补液管上设有控制阀，所述液位计通过所述控制阀控制所述补液管开关。
3.根据权利要求2所述的一种液态源的储存装置，其特征在于：所述液位计为浮球液位计。
4.根据权利要求1至3任一所述的一种液态源的储存装置，其特征在于：所述石英罐底部的凹槽中设有加热棒。
5.根据权利要求1所述的一种液态源的储存装置，其特征在于：所述石英罐中设有压力传感器，所述压力传感器通过电磁阀与所述补液管连接。
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