[实用新型]一种硅烷分解尾气中氢气回收系统

权利要求书

1.一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其特征在于，其包括氢气压缩机、氢气储罐和至少两个吸附柱；尾气进气管通过尾气进气阀分别与各个所述吸附柱的进口三通阀的一个端口连通，各个所述吸附柱的所述进口三通阀的另一个端口均通过脱附管线与混合切断阀的进口连通；所述吸附柱的出口三通阀的一个端口通过吸附切断阀与所述氢气压缩机的进气口连通，所述氢气压缩机的出气口与所述氢气储罐的进气口连通，所述氢气储罐通过脱附切断阀分别与各所述出口三通阀的另一个端口连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其特征在于，在所述吸附切断阀的出口与所述脱附管线之间连通有检测管路，所述检测管路上装设有检测三通阀，所述检测三通阀的第三端口与在线检测仪连通，在所述检测三通阀两侧的所述检测管路上分别装设有一个减压阀。

3.根据权利要求2所述的一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其特征在于，所述在线检测仪与DCS控制系统的输入端电连接，所述DCS控制系统的输出端分别与所述尾气进气阀、所述进口三通阀、所述出口三通阀、所述吸附切断阀、所述脱附切断阀、所述减压阀、所述检测三通阀和所述混合切断阀电连接。

4.根据权利要求3所述的一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其特征在于，所述吸附柱的外部设有压力变送器，所述压力变送器的探头设置在所述吸附柱的内部；所述压力变送器与所述DCS控制系统的输入端电连接。

5.根据权利要求1至4任一所述的一种硅烷分解尾气中氢气回收系统，其特征在于，所述吸附柱包括吸附柱主体，填充在所述吸附柱主体内部的吸附填料，和套设在所述吸附柱主体外部的水套；在所述吸附柱主体的进气管上连接有所述进口三通阀，在所述吸附柱主体的出气管上连接有所述出口三通阀，在所述水套上连通有循环水进口和循环水出口。