[实用新型]MO源中央供应系统

权利要求书

1.一种MO源中央供应系统，其特征在于，所述MO源中央供应系统包括：储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐；

所述储液罐通过管路与下游的中转罐相连接，所述储液罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，所述中转罐通过管路与下游的第一钢瓶，所述中转罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，所述第一钢瓶通过管路与下游的第二钢瓶相连接，所述第二钢瓶同时与排空管路、特气管路、氮气管路和真空管路相连接，所述冷肼与真空管路相连接，且所述冷肼通过管路与下游的真空泵相连接，所述真空泵同时与设备排气管路相连接，所述尾气液封罐位于所述真空泵的下游，所述尾气液封罐同时与进淋洗塔管路和排空管路相连接。

2.根据权利要求1所述的MO源中央供应系统，其特征在于，所述储液罐置于一工业电子秤上。

3.根据权利要求1所述的MO源中央供应系统，其特征在于，所述储液罐的容积为100～2000L。

4.根据权利要求1所述的MO源中央供应系统，其特征在于，所述中转罐置于一工业电子秤上。

5.根据权利要求1所述的MO源中央供应系统，其特征在于，所述第一钢瓶为温度平衡钢瓶。

6.根据权利要求1所述的MO源中央供应系统，其特征在于，所述真空泵为750W旋片式真空泵。

7.根据权利要求1所述的MO源中央供应系统，其特征在于，所述进淋洗塔管路、排空管路、特气管路、设备排气管路、氮气管路和真空管路上均设置有压力表。