[实用新型]基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置有效
| 申请号： | 201822187893.1 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209166556U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 谢金;杨磊;陈旭颖;杨邓飞;刘鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01F1/66 | 分类号： | G01F1/66 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电超声波 微机械 换能器阵列 流量计 渡越时间测量 本实用新型 换能器单元 管道径向 电极 底电极 换能器 基底层 流体 斜对 超声波发射模块 超声波接收模块 连接线 测量超声波 超声波发射 超声波脉冲 接收模块 流体流速 逆流方向 逐层叠加 接线端 压电层 隔开 顺流 逆流 发射 传播 | ||
1.一种基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置，其特征在于，包括安装于待测管道侧壁上的超声波发射模块与超声波接收模块，超声波发射模块与超声波接收模块相互独立，且沿管道径向斜对安装，两者之间由待测流体隔开；所述超声波发射模块与超声波接收模块均采用微机械压电超声波换能器阵列模块，所述超声波换能器阵列模块底部为基底层(05)，基底层(05)上设有换能器单元，换能器单元从下到上由底电极(03)、压电层(02)和上电极(01)逐层叠加而成，底电极(03)和上电极(01)分别通过连接线(04)与不同的接线端相连。
2.如权利要求1所述的基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置，其特征在于，所述的超声波换能器阵列模块中，所述换能器单元有多个，且在基底层(05)上呈矩形阵列排布，各换能器单元以并联的方式连接于接线端上。
3.如权利要求2所述的基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置，其特征在于，所述的矩形阵列为10×10矩形阵列。
4.如权利要求1所述的基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置，其特征在于，上电极(01)和底电极(03)的材料为钼；压电层(02)的材料为氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷；连接线(04)的材料为铝；基底层(05)的材料为硅。
5.如权利要求1所述的基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置，其特征在于，所述的超声波发射模块与超声波接收模块均通过接线端连接外部信号激励源以及超声波渡越时间评估板。
6.如权利要求1所述的基于微机械压电超声波换能器的流量计渡越时间测量装置，其特征在于，所述的超声波发射模块与超声波接收模块尺寸均为3.5×3.5mm2。
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