[实用新型]一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具有效

专利信息
申请号: 201822193857.6 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209578079U 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 吴本明;文宏福 申请(专利权)人: 韶关市欧莱高新材料有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: B22D7/06 分类号: B22D7/06;C23C14/35
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 吴静芝
地址: 512000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 无缝钢管 磁控溅射靶材 生产铝 模具 本实用新型 抛光层 底座 生产周期 一氮化硼 左右开模 成材率 涂料层 一次性 靶材 内壁 脱模 铸锭
【说明书】:

本实用新型涉及用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。本实用新型所述的用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,包括一底座和一无缝钢管,所述无缝钢管固定在所述底座上,所述无缝钢管的内壁设置一抛光层,在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。本实用新型的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,由左右开模改为无缝钢管,避免了铸锭时裂纹的产生,虽然在脱模时需要将无缝钢管铣开,无缝钢管是一次性的,但是与原来相比,因为避免了靶材裂纹,使得投入原料大大减少,还提高了成材率避免浪费原料,且生产周期大大减少,提高了效率。

技术领域

本实用新型涉及靶材铸锭模具,特别是涉及一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。

背景技术

铝通过掺杂少量铜形成铝铜合金,用于制作出铝铜磁控溅射靶材,该合金主要用于TP电极导线镀膜,能使TP导线电阻率大大降低,导电性能大大提升。而随着科学技术的发展,对于触摸屏电极的工艺,由于触控尺寸不断加大,对电极线路导电性要求越来越高。铝铜合金有望成为TP电极下一代主流工艺。

申请人在靶材生产过程中,在进行浇注铸锭过程中,所使用的模具为左右开模,如图1所示,所述模具由左右两个半圆筒型模具拼装制成,两模具在轴向边缘通过螺栓连接。该模具在进行铸锭时,会使得出模的成品产生裂纹,因为依据铝铜材料的性能,流动性和韧性不好,有热裂倾向,在收缩时,如果模具有缺陷,会在缺陷处形成应力,当应力较大时,会在该处形成裂纹。而现有技术使用的模具为左右开模式,在接合处会有1-2MM的裂缝,当料在充型时会在此处形成极大的收缩应力,导致裂纹的产生。而裂纹的产生对后续加工影响很大。

出模成品有裂纹的地方不能在进行加工使用,这样就导致在进行铸锭时必须加大投入料,使得铸锭出模的产品外径更大才有利于后期加工。依据铝铜订单尺寸为OD154/151*ID125*1550,根据材料的性能,判断会产生裂纹,申请人加大了加工佘量,如图1所示,将模具内径设定为180MM,铸锭长度为650MM,铸锭完成后发现有很多裂纹,导致投入7炉料,才出1根成品,且生产周期也要增加7天。这样一来就导致生产成本大大增加,成材率也大大降低,且加工效率也不高。

实用新型内容

基于此,本实用新型的目的在于,提供一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。以有效解决现有技术中的不足。

为达到上述目的,本发明采用如下技术方案:

一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,包括一底座和一无缝钢管,所述无缝钢管固定在所述底座上,所述无缝钢管的内壁设置一抛光层,在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。

进一步地,所述无缝钢管的内径为164-166mm,长度为900-915mm。

进一步地,所述无缝钢管的外壁对称固定设置有吊把。

进一步地,所述无缝钢管的外壁上沿轴向方向对称设置两条切割标注线。

进一步地,所述无缝钢管的外壁沿轴向方向对称设置两条切割凹槽。

与现有技术相比,本实用新型用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,具有以下优点:

1、本实用新型的用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具,将左右开模改为无缝钢管,可以使得模具的内径由原来的180mm减少至164-166mm,铸锭长度由原来的650mm能增加到915mm,因为没有裂纹产生,只需要投入2炉料就可以做成1根成品,原材料减少了3倍以上,大大减少了原材料的投入。

2、还能提高成材率,节省成本。采用左右开模式时,计算原材料成本,7炉原料,每炉50公斤,高纯铝每公斤40元,则做一根成品需要原料50*7*40=14000元,而改为无缝钢管后,只需,2*55*40=4400,通过计算每根成品可以节省原料将近10000元,按每年200根算,可节约200多万元。

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