[实用新型]高顺向性多晶区熔炉有效

专利信息
申请号: 201822197746.2 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209652474U 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 陈文斌;陈洪涛 申请(专利权)人: 江西北冰洋实业有限公司
主分类号: C30B28/08 分类号: C30B28/08
代理公司: 36129 南昌赣专知识产权代理有限公司 代理人: 王超<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 344100 江西省抚州市临*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 冷却箱 换热管 加热炉 多晶区熔炉 冷却水桶 顺向性 穿出 水桶 专用加工设备 本实用新型 加热炉中心 距离保持 空气换热 控温系统 冷却效果 升降系统 一段距离 多晶体 冷却水 内侧壁 区熔炉 炉体 内壁 伸入 顺向 贴合 左端 电子产品 出口 冷却 相隔 穿过 流动
【说明书】:

实用新型公开了一种高顺向性多晶区熔炉,涉及电子产品材料专用加工设备。包括区熔炉炉体、控温系统、升降系统和加热炉,加热炉的下方设置有冷却水桶,水桶固定后同加热炉的底部之间的距离保持固定,将顺向多晶体穿过加热炉中心后伸入到水桶中;包括冷却箱以及换热管,冷却箱设置在所述冷却水桶的右方,换热管的左侧为入口,换热管的右侧设有出口,换热管的左方与冷却箱的左内侧壁贴合,入口穿出冷却箱的左端,换热管的右端与冷却箱的右内壁相隔一段距离,出口穿出冷却箱的右端;以解决现有技术中高顺向性多晶区熔炉的冷却水只能依靠在流动时与空气换热进行冷却导致的冷却效果不理想的问题。

技术领域

本实用新型涉及电子产品材料专用加工设备,特别涉及高顺向性多晶区熔炉。

背景技术

区熔炉是半导体制冷晶体粒子制备的关键设备,其功能是将熔炼好的无取向结晶的材料通过区熔加工成顺向多晶,而顺向多晶的结晶方向决定了晶体材料热电性能,结晶方向与轴向夹角越小,晶体材料的热电性能越好。目前,我国半导体制冷器件生产厂家所用的区熔炉基本相同,都是将熔炼好的无取向结晶的材料自上而下慢速垂直通过区熔炉,使无取向结晶材料经这一过程变成结晶方向与轴向基本一致的顺向多晶。

现有的高顺向性多晶区熔炉,如授权公告号为CN 201729906 U 的高顺向性多晶区熔炉,采用了自动循环冷却水的方式来提高顺向性,使得半导体材料的导电性能更好。但是,此种方式中,循环的冷却水未从外界引入冷却源,只能依靠冷却水在流动中与空气换热的方式进行冷却,冷却效果不理想。

实用新型内容

本实用新型提供高顺向性多晶区熔炉,以解决现有技术中高顺向性多晶区熔炉的冷却水只能依靠在流动时与空气换热进行冷却导致的冷却效果不理想的问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:

一种高顺向性多晶区熔炉,包括区熔炉炉体、控温系统、升降系统和加热炉,所述加热炉的下方设置有冷却水桶,所述水桶固定后同加热炉的底部之间的距离保持固定,将顺向多晶体穿过加热炉中心后伸入到水桶中;包括冷却箱以及换热管,

所述冷却箱设置在所述冷却水桶的右方,所述冷却水桶的右上部设有上循环管道,所述冷却水桶的右下部设有下循环管道,所述上循环管道以及所述下循环管道均连接至所述冷却箱,所述上循环管道上安装有第一水泵,所述下循环管道上安装有第二水泵;

所述换热管的左侧为入口,所述换热管的右侧设有出口,所述换热管的左方与所述冷却箱的左内侧壁贴合,所述入口穿出所述冷却箱的左端,所述换热管的右端与所述冷却箱的右内壁相隔一段距离,所述出口穿出所述冷却箱的右端;

所述冷却箱的顶端中心设有风冷管,所述风冷管与所述冷却箱之间相通,所述风冷管的左端为入风口,所述风冷管的右端为出风口,所述入风口和出风口上均安装有支架,两所述支架之间安装有旋转轴,所述旋转轴的中心设有被动链轮,所述被动链轮的左方设有风扇体;所述风冷管的顶端安装有电机,所述电机的转轴上安装有主动链轮,所述主动链轮与所述被动链轮通过链条连接。

作为本技术方案的进一步改进,包括冷水管,所述冷水管安装在所述换热管中,所述冷水管螺旋贴合所述换热管的内壁。

作为本技术方案的进一步改进,所述支架与所述旋转轴之间通过轴承连接。

作为本技术方案的进一步改进,所述风扇体的扇叶至少有四片。

作为本技术方案的进一步改进,所述换热管的前端贴合所述冷却箱的前内壁,所述换热管的后端贴合所述冷却箱的后内壁。

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