[实用新型]一种电子级盐酸纯化系统

权利要求书

1.一种电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述系统包括工业盐酸进料管道、超纯水进水管道、盐酸成品出料管道、再沸器、精馏塔、吸收塔、吸收罐以及循环泵，所述精馏塔包括塔釜和塔体；所述工业盐酸进料管道与所述再沸器的进液口相连通，所述再沸器的出气口与所述精馏塔的塔釜相连通,所述塔釜底部的出液口与所述再沸器的进液口相连通，所述塔体顶部的出气口经管道与所述吸收塔的进气口相连接，所述吸收塔的出液口经管道与所述吸收罐的进液口相连通，所述吸收罐还与所述超纯水进水管道相连通，所述吸收罐的出液口分别连接所述盐酸成品出料管道以及所述循环泵的进液口，所述循环泵的出液口经管道与所述吸收塔的喷淋组的进液口相连通；所述精馏塔的塔体、所述吸收塔以及其间的连接管道为通体PVDF的均质结构；所述循环泵、所述吸收罐以及与其连接的内流盐酸的管道为通体高纯氟塑料的均质结构或以高纯氟塑料为内衬的双层结构。

2.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，还包括高硼硅玻璃材质预热器，所述工业盐酸进料管道与所述预热器的进液口连接，所述预热器的出液口经管道与所述再沸器的进液口连接，所述精馏塔上部和下部通过旁路管道连通，精馏塔的旁路管道经两个并联管道与所述预热器连通，并联管道中的一个设有用于调节所述塔釜内物料排放量的阀门。

3.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述吸收塔的出液口以及所述吸收塔的喷淋组的进液口分别气动开关阀门。

4.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述吸收罐设有用于检测盐酸浓度的浓度计和氮气保护系统。

5.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述吸收罐为多个，且为并联结构。

6.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述系统还包括环境抽风净化装置，用于抽取渗透出所述系统中PVDF材质的装置外的HCl气体；所述环境抽风净化装置的出气口、所述吸收塔的排气口通过废气管道与尾气洗涤塔相连通。

7.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述精馏塔和所述吸收塔内设有高纯PFA材质填料；所述精馏塔的塔釜为高硼硅玻璃材质塔釜；所述再沸器为内置纯钽内胆的高硼硅玻璃材质再沸器；所述吸收罐为不锈钢壳体内衬PTFE的双层结构；所述循环泵为不锈钢壳体内衬PFA的双层结构。

8.如权利要求1所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，与所述循环泵、所述吸收罐连接的内流盐酸的管道均为通体PVDF材质的均质结构。

9.如权利要求1至8任意一项所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述吸收塔的出液口与吸收罐的进液口之间的管道设置有冷凝器。

10.如权利要求9所述的电子级盐酸纯化系统，其特征在于，所述冷凝器内设有高纯PFA材质管路供输送盐酸，除供输送盐酸管路之外为不锈钢体。