[实用新型]一种可调节的双流体平板清洗结构

说明书

本实用新型涉及一种可调节的双流体平板清洗结构，包括至少一个双流体刀，双流体刀通过可调节的固定机构设置在底座上，所述固定机构包括两块调节组合装置，双流体刀夹持固定在所述两块调节组合装置之间，其中，双流体刀中设有封闭腔体，在所述封闭腔体的中间设置有隔板，隔板上设置有多个通孔，隔板沿双流体刀的长度方向将所述封闭腔体分割成两块，分别为进风腔和进液腔，所述进风腔的上部设有进风口，所述进液腔的上部开有进液口，在所述进液腔的底部开有若干个喷雾口。本实用新型能够在双流体刀安装好后对双流体刀的位置及出风方向进行更具针对性的调整，能够提高平板的吹干效率，同时调整双流体刀的整体结构，采用气液混合式的液幕来提升平板清洗的效果。

技术领域

本实用新型涉及平板清洗设备技术领域，具体涉及一种可调节的双流体平板清洗结构。

背景技术

硅片或者平板在清洗或者剥膜后需要清洗平板表面，去除表面的碎屑或者残余药液，目前常用的方式，是选用风刀吹风或者液刀吹送高压液体的形式，但针对不同规格的平板，需要对风刀或者液刀的位置及出风出液方向等进行一定的调整，以提高其工作效率。但是现有的固定结构中，在装配完成后就无法对风刀或者液刀进行微调，必须整体拆装才能够对风刀或者液刀进行调整，可调性差，不能满足越来越精细化的工作需求。

另外，由于普通的液刀由于压力原因，一些附着在玻璃上的离子无法清除，导致玻璃平板洗不干净，如何快速有效地解决这一清洁效果差的问题，也是目前急需要解决的。

实用新型内容

本实用新型的目的是要提供一种可调节的双流体平板清洗结构，能够在双流体刀安装好后对双流体刀的位置及出风方向进行更具针对性的调整，能够提高平板的吹干效率，同时调整双流体刀的整体结构，采用气液混合式的液幕来提升平板清洗的效果。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种可调节的双流体平板清洗结构，包括至少一个双流体刀，双流体刀通过可调节的固定机构设置在底座上，所述固定机构包括两块调节组合装置，双流体刀夹持固定在所述两块调节组合装置之间，其中，双流体刀中设有封闭腔体，在所述封闭腔体的中间设置有隔板，隔板上设置有多个通孔，隔板沿双流体刀的长度方向将所述封闭腔体分割成两块，分别为进风腔和进液腔，所述进风腔的上部设有进风口，所述进液腔的上部开有进液口，在所述进液腔的底部开有若干个喷雾口。

所述进风腔呈上宽下窄的结构，所述若干个喷雾口紧贴所述隔板设置，并且所述进风腔的底部在相邻的喷雾口之间设置有用于喷射液幕的狭缝。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

进一步地，所述进风腔呈上宽下窄的结构，所述若干个喷雾口紧贴所述隔板设置，并且所述进风腔的底部在相邻的喷雾口之间设置有用于喷射液幕的狭缝。

进一步地，调节组合装置包括支撑座、水平固定座、水平调节机构和竖直调节机构，支撑座固定在设备机架上，所述水平固定座固定在所述支撑座内，双流体刀设于相对设置的两水平固定座的内侧，所述水平调节机构固定在所述水平固定座的外侧，用于水平转动双流体刀、调节双流体刀的出风方向，所述竖直调节机构竖直设置并且垂直于所述水平固定座，用于竖直升降双流体刀、调节双流体刀的上下位置。

进一步地，所述水平调节机构包括角度指针和转杆，转杆穿过所述水平固定座上的通孔并与双流体刀固定连接，用于带动所述双流体刀水平转动，所述角度指针固定在所述转杆上并与所述转杆一起转动。

进一步地，在所述固定座的外侧设置有角度刻度，所述角度指针的尖端贴近所述角度刻度设置，用于标识双流体刀转动的角度。

更进一步地，所述水平调节机构还包括第一限位块和第一限位柱，所述第一限位块与所述转杆固定连接，在所述第一限位块上开有弧形腰型孔，第一限位柱固定在所述水平固定座上，第一限位柱卡在所述弧形腰型孔内用于限定转杆的转动位置。