[实用新型]自动定位式上下设备

说明书

本实用新型涉及一种自动定位式上下设备，包括有底座，底座上安装有晶圆夹取装置，晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。由此，带有自动定位装置，能将运输中的晶圆准确定位放置到加工位和料盒中。整体构造简单，一体性好，无需占用较大的设备空间。能够与目前常规的晶圆加工设备匹配使用，泛用性较好。

技术领域

本实用新型涉及一种上下设备，尤其涉及一种自动定位式上下设备。

背景技术

目前在晶圆加工行业，晶圆取放装置普遍复杂且空间较大，导致设备空间变大，制造成本提高，因此有必要设计一种空间小，价格低且带有自动定位的全自动上下料装置。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种自动定位式上下设备，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种自动定位式上下设备。

本实用新型的自动定位式上下设备，包括有底座，其中：所述底座上安装有晶圆夹取装置，所述晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，所述晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，所述晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。

进一步地，上述的自动定位式上下设备，其中，所述晶圆夹取装置包括有支撑脚，所述支撑脚与底座相连，所述支撑脚上安装有第一导轨，所述第一导轨的两端均设置有轴承安装座，所述轴承安装座之间连接有第一丝杆，所述第一丝杆的一端连接有驱动电机，所述第一导轨上安装有夹持组件。

更进一步地，上述的自动定位式上下设备，其中，所述夹持组件夹持组件包括有夹子连接板，所述夹子连接板上连接有气缸，所述气缸上设置有夹片。

更进一步地，上述的自动定位式上下设备，其中，所述晶圆定位装置包括有安装脚，所述安装脚与底座相连，所述安装脚上连接有安装板，所述安装板两侧均连接有副带轮，且至少一个副带轮上连接有控制电机，所述副带轮上套设有副皮带，所述副皮带上安装有定位块。

更进一步地，上述的自动定位式上下设备，其中，所述料盒升降装置包括有安装底板，所述安装底板的两侧安装有第二导轨，所述安装底板上还连接有第二丝杆，所述第二丝杆的两端设置有轴承安装座，所述第二导轨上安装有料盒支撑板且料盒支撑板位于第二丝杆的上端，所述安装底板上安装有升降电机，所述第二丝杆与升降电机上均设置有独立的主带轮，所述主带轮上套设有主皮带。

更进一步地，上述的自动定位式上下设备，其中，所述晶圆转移装置包括有与晶圆定位装置相连的转接板，所述转接板上安装有伸缩杆，所述伸缩杆上连接有转移电机。

再进一步地，上述的自动定位式上下设备，其中，所述伸缩杆的安装位置位于所述晶圆定位装置的上方。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、带有自动定位装置，能将运输中的晶圆准确定位放置到加工位和料盒中。

2、整体构造简单，一体性好，无需占用较大的设备空间。

3、能够与目前常规的晶圆加工设备匹配使用，泛用性较好。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是自动定位式上下设备的结构示意图。

图中各附图标记的含义如下。

1 底座 2 晶圆夹取装置

3 晶圆定位装置 4 料盒升降装置