[实用新型]一种能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜

权利要求书

1.一种能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，所述减反射膜设置在基板上，其特征在于，所述减反射膜包括N个由低折射率膜层和高折射率膜层堆叠的交替结构，后一个交替结构的低折射率膜层堆叠在前一个交替结构的高折射率膜层上，所述N个交替结构的最上方依次堆叠有一层高折射率膜层和一层低折射率膜层构成基础结构，所述减反射膜还包括设置在所述基础结构的任意两相邻膜层之间的中间折射率膜层。

2.如权利要求1所述的能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，其特征在于，所述减反射膜包括依次堆叠在基板上的低折射率膜层、高折射率膜层、中间折射率膜层、低折射率膜层、中间折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、中间折射率膜层、高折射率膜层以及低折射率膜层。

3.如权利要求2所述的能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，其特征在于，所述依次堆叠在基板上的各膜层的厚度由邻近基板侧起分别为9.71nm、29.02nm、19.69nm、17.92nm、10.47nm、16.25nm、131.65nm、12.43nm、45.97nm、75.15nm、1.99nm、56.16nm、104.25nm。

4.如权利要求1所述的能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，其特征在于，所述基板为光学元件。

5.如权利要求1所述的能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，其特征在于，所述高折射率膜层包括钛酸镧、氧化钛、氧化锆、氧化钽和氧化铌中的一种或多种。

6.如权利要求1所述的能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，其特征在于，所述中间折射率膜层包括氧化铝和氟化铈中的一种或多种。

7.如权利要求1所述的能消除大角度入射光学成像中鬼影的减反射膜，其特征在于，所述低折射率膜层包括氟化镁、二氧化硅和氟化铝中的一种或多种。