[实用新型]一种分光探测模块和粒子分析仪

权利要求书

1.一种分光探测模块，其特征在于，所述分光探测模块包括沿光路方向设置的多个分光探测组件，每个分光探测组件包括二向分色镜和光电探测器，照射至二向分色镜的第一波长范围的光束透射该二向分色镜并被对应的光电探测器探测到，照射至二向分色镜的第二波长范围的光束被二向分色镜反射至下一个分光探测组件并再次被分光和探测。

2.根据权利要求1所述的分光探测模块，其特征在于，所述多个分光探测组件沿光路方向依次编号并划分为奇数分光探测组件和偶数分光探测组件，所述奇数分光探测组件并排设置，所述偶数分光探测组件并排设置，光束在奇数分光探测组件和偶数分光探测组件之间来回反射、以及被不同的奇数分光探测组件和不同的偶数分光探测组件进行分光和探测。

3.根据权利要求2所述的分光探测模块，其特征在于，所述分光探测模块还包括沿光路方向设置的至少一个全反镜，所述全反镜用于替换奇数分光探测组件和偶数分光探测组件中的一个或多个。

4.根据权利要求1所述的分光探测模块，其特征在于，所述分光探测组件还包括带通滤光片和聚焦透镜，所述带通滤光片和聚焦透镜沿透射二向分色镜的第一波长范围的光束的光路方向依次布置在二向分色镜和光电探测器之间。

5.根据权利要求1所述的分光探测模块，其特征在于，所述分光探测模块还包括沿光路方向设置的至少一个全反镜，所述全反镜用于将光束反射至下一个分光探测组件的二向分色镜或下一个全反镜。

6.根据权利要求1所述的分光探测模块，其特征在于，所述分光探测模块还包括准直透镜，所述准直透镜沿光路方向布置在多个分光探测组件前的光路上。

7.一种粒子分析仪，其特征在于，所述粒子分析仪包括光学系统，所述光学系统包括分光探测模块，所述分光探测模块为权利要求1至6任意一项所述的分光探测模块。

8.根据权利要求7所述的粒子分析仪，其特征在于，所述粒子分析仪包括多个分光探测模块，多个分光探测模块用于分别对多个光束一一对应地进行分光。

9.根据权利要求7所述的粒子分析仪，其特征在于，所述粒子分析仪还包括流动室，所述光学系统还包括光学采集模块，所述光学采集模块用于对流动室的多个光源进行采集并形成非共轴的多个光束，所述分光探测模块用于对光束进行分光和探测。

10.根据权利要求9所述的粒子分析仪，其特征在于，所述流动室具有相对的第一侧和第二侧，所述光学采集模块包括粘附于流动室的第一侧的反射镜和位于流动室的第二侧的单片透镜，所述流动室的多个光源经反射镜反射后对应形成非共轴的多个聚焦光斑，所述多个聚焦光斑经单片透镜后对应形成多个与单片透镜的光轴呈不同倾斜角的光束。