[实用新型]多轴纸基加速度传感器有效

专利信息
申请号: 201822216386.6 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN209198491U 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰 申请(专利权)人: 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
主分类号: G01P15/12 分类号: G01P15/12;G01P15/18
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 殷海霞
地址: 215100 江苏省苏州市相城*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 纸基 加速度传感器 单轴 多轴 本实用新型 安装载体 绿色环保 制备工艺 两轴 三轴 独立运行 环保特性 折叠变形 传统的 低成本 灵敏度 硅基 配置 污染
【说明书】:

本实用新型公开了一种制备工艺简单、可靠性高、绿色环保以及低成本的多轴纸基加速度传感器,包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体;所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个,各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行;所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部,两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上;或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。本实用新型的多轴纸基加速度传感器,利用纸基易折叠变形的特点,能够降低制备工艺的难度,以及纸基的环保特性,相较于传统的硅基加速度传感器不影响其灵敏度的前提下降低了成本,同时不会对环境造成污染,绿色环保。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域,具体涉及一种多轴纸基加速度传感器。

背景技术

加速度传感器是一种能够测量周围环境发生加速度变化的高灵敏度器件,也是汽车安全、智能产品、GPS导航以及航空等应用领域中重要部分。其主要以硅为基材,由质量块、弹性元件、阻尼器、敏感元件和适调电路等部分组成,将加速度信号转变为相应的电信号,可应用于多方向加速度大小的测量。但目前其需要通过光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀以及化学机械抛光等,甚至还采用微加工制造技术。加速度传感器的传统加工工艺过于复杂,如果加工过程中某个环节发生错误,往往造成所制备加速度传感器的灵敏度不高,甚至不能使用。同时,传统加速度传感器在制备过程中会对环境带来污染,并且昂贵的硅片基材也增加了其制造陈本,这些都造成了传统加速度传感器的可靠性不足以及成本增加。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种制备工艺简单、可靠性高、绿色环保以及低成本的多轴纸基加速度传感器。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种多轴纸基加速度传感器,包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体;所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个,各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行;所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部,两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上;或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述单轴纸基加速度传感器包括纸基载体、配置在纸基载体上的感应部,以及与所述感应部电性连接的信号输出部;所述感应部具有质量块和碳膜电阻,作用在所述质量块上的力经所述碳膜电阻转换成电信号,所述信号输出部将碳膜电阻转换输出的电信号输出至外部测量仪器。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述单轴纸基加速度传感器还包括信号转接部,所述信号转接部配置在纸基载体上,所述信号转接部电性连接碳膜电阻和信号输出部;所述信号转接部将碳膜电阻转换输出的电信号传输至信号输出部。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述信号转接部包括涂覆在纸基载体上的导电线,所述导电线的一端连接碳膜电阻,其另一端连接信号输出部;所述导电线的材料为导电胶带、金属薄膜、导电银浆或导电碳浆。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述单轴纸基加速度传感器还包括固定部,所述单轴纸基加速度传感器通过其固定部安装在所述安装载体的两轴安装部或三轴安装部上。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述碳膜电阻为涂覆在所述纸基载体上的碳膜,所述碳膜为“U”字形结构。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述碳膜的材料为石墨、石墨烯或碳纳米管。

本实用新型一个较佳实施例中,进一步包括所述安装载体上还设有输出通孔,所述输出通孔配置在与两轴安装部或三轴安装部相邻位置的平面上;各所述单轴纸基加速度传感器的信号输出部均通过所述输出通孔连接外部测量仪器。

为了解决上述技术问题,本实用新型还提供了一种多轴纸基加速度传感器的制备方法,包括,

基于裁切、冲压或者激光切割工艺制成纸基安装载体;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司,未经江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822216386.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top