[实用新型]一种可调节激光衰减器

说明书

本实用新型公开了一种可调节激光衰减器，包括1/2波片、偏振分光镜片和剩余光收集器，所述1/2波片可转动的设置，还包括扩束镜，所述扩束镜、1/2波片、偏振分光镜片设置在入射激光的光路上，所述扩束镜和1/2波片的中心与光路共线；入射激光垂直射入扩束镜，经过扩束的激光垂直射入1/2波片，在射向偏振分光镜片形成透射光路和反射光路，反射光路通过所述剩余光收集器收集。该可调节激光衰减器不仅可以用于激光能量的衰减，还可以调节激光衰减器降低入射光束的功率密度，同时调节出射光束的光束大小。

技术领域

本实用新型涉及激光器领域，具体为一种可调节激光衰减器。

背景技术

在激光加工领域中，不同的材料以及不同的加工方式往往需要使用不同的激光功率，所以激光功率的衰减调节在激光技术应用中是必不可少的。一般情况下，通过调节激光器泵浦源或者放大级电流的方式可以实现激光功率的调节，但频繁调节泵浦源和放大级功率会导致激光器寿命缩短、激光功率不稳定、光束质量下降等一系列问题，不适用于对稳定性、可靠性要求较高的工业领域。

传统激光功率衰减调节通常有以下三种方式：1)采用吸收型中性密度衰减片；2)采用镀膜光学镜片；3)采用偏振分光方式。

吸收型中性密度衰减片利用某些材料对激光有较强吸收这一特性，对通过的激光束实现功率衰减。但吸收型中性密度衰减片吸收的激光能量会转化为热能，导致器件升温，进而影响器件的光学特性，最终影响出射的激光光束质量，且在高功率激光的照射下，甚至还会引起器件损伤。另外，吸收型中性密度衰减片一般对固定波长、偏振态的激光束吸收系数固定，无法实现激光功率的连续可调。镀膜光学镜片一般采用玻璃或石英材质，通过镀膜参数或者镜片数量来控制反射率，从而改变反射和透射的比例，实现对透射/反射光束功率的衰减调节。但由于镜片镀膜对不同波长和偏振的激光有不同反射率，因而在不同波长、偏振态下工作具有不同的衰减系数，也无法做到连续可调。

至于偏振分光方式衰减是利用线偏振激光的偏振特性，通过偏振器件将线偏振激光分成两个偏振方向互相垂直的分量，一束透射一束反射，通过衰减其中一个分量，从而实现激光功率的衰减调节。沿光轴旋转偏振器件，可以得到两个分量不同的透射/反射比，从而实现功率的连续可调衰减。但往往旋转偏振器件的结构复杂且体积较大，且光束通过偏振分光器件会发生一定位移，旋转过程中出射光的位置精度难以保证。

如附图1所示，现有技术中公开了一种激光衰减器，采用了偏振镜片2、1/2波片10和激光吸收体组件21，通过将1/2波片10安装在一个旋转装置上，通过旋转1/2波片10，使通过的激光的P光和S光分量不同，再通过偏振镜片2和3，反射S光，以达到衰减激光的效果，但其不能调节入射激光的功率密度，在处理高功率的激光，造成激光功率过于集中，产品发热问题严重，同时，也不能对衰减之后的出射光束的大小进行调节。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供了一种可调节激光衰减器，可以调节激光衰减器降低入射光束的功率密度，同时调节出射光束的光束大小。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种可调节激光衰减器，包括1/2波片、偏振分光镜片和剩余光收集器，所述1/2波片可转动的设置，还包括扩束镜，所述扩束镜、1/2波片、偏振分光镜片设置在入射激光的光路上，所述扩束镜和1/2波片的中心与光路共线；入射激光垂直射入扩束镜，经过扩束的激光垂直射入1/2波片，在射向偏振分光镜片形成透射光路和反射光路，反射光路通过所述剩余光收集器收集。