[实用新型]一种具有反向通流功能的器件有效
申请号: | 201822222729.X | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN209544357U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 刘佳鹏;曾嵘;周文鹏;赵彪;余占清;陈政宇 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/08;H01L29/747 |
代理公司: | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人: | 张陆军;张迎新 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通流 驱动电路 芯片模块 门极 掺杂 芯片 阴极 本实用新型 工艺步骤 正常功能 正向导通 成品率 发射极 缓冲层 制作 保证 | ||
本实用新型提出了一种具有反向通流功能的器件,所述器件通过GCT芯片模块n+缓冲层与p+发射极掺杂以及在门极下方制作高浓度p+掺杂,改善GCT芯片的特性;并通过设置连接在GCT芯片模块上的IGCT驱动电路或ETO驱动电路,使所述GCT芯片的阴极和门极之间形成反向通流,实现IGCT或ETO器件的反向通流功能,并且保证了所述器件在正向导通时仍具有传统IGCT或ETO器件的性能;同时,所述器件在不改变原有GCT结构以及不影响IGCT或ETO器件正常功能的情况下,实现IGCT或ETO器件的反向通流,工艺步骤简单,提高了工业生产的成品率。
技术领域
本实用新型涉及电力电子技术领域,尤其涉及一种具有反向通流功能的器件。
背景技术
图1示出了传统GCT单元的结构示意图,如图所示,现有传统GCT单元主要包括GCT芯片和对应的紧密型门极驱动两部分,GCT芯片内部为典型的非对称结构,GCT芯片内部设置PN结,所述PN结是采用不同的掺杂工艺,通过扩散作用,将P型半导体与N型半导体制作在同一块半导体基片上,所述半导体基片通常是硅或锗,在所述P型半导体与N型半导体的交界面就形成空间电荷区称为PN结,如图2示出了根据现有技术的所述PN结的结构示意图。PN结具有单向导电性,是电子技术中许多器件所利用的特性,PN结构成半导体二极管、双极性晶体管的物质基础。所述结构在施加正向电压时,如图1中所示的第一 PN结J1与第三PN结J3正偏,第二PN结J2反偏,由于n基区电阻率水平较低,该结构能够承受数kV电压;然而该结构在施加反向电压时,图1中所示的第一PN结J1与第三PN结J3反偏,第二PN结J2正偏,由于第一PN结J1与第二PN结J3掺杂浓度较高,该阻断能力仅为20V左右。对于传统结构的GCT 芯片而言,由于透明阳极与缓冲层结构的存在,其第一PN结J1在极低的反向电压下即会出现齐纳击穿或穿通击穿。故在施加反向电压时,电压主要降落在第三PN结J3处;然而在实际应用情形中,GCT芯片配合门极驱动共同使用,其内部p基区或n基区的电压分布会受到驱动电路影响。在正常工况下,传统门极驱动的控制逻辑为:在阻断状态下,在阴极上施加比门极电位高20V的电信号,以确保器件处于稳定阻断状态;在开通状态下,由门极向阴极注入驱动电流,触发器件导通。此时在开通状况或是阻断状况下,对IGCT/ETO器件整体施加反向电压易造成驱动电路的损坏。
在变换器等应用中,电力电子器件通常需要具备反向通流的能力,这通常通过在器件外部反并联二极管或在芯片非GCT区域制造二极管这两种方式来实现的。然而,反并联二极管会在回路中引入杂散参数,造成尖峰过电压,并会加大压装结构的设计难度,在非GCT区域制造二极管则会降低整个GCT芯片的通流能力,同时也会提升工艺实现过程的难度,对成品率有较大影响。
实用新型内容
针对现有技术反向通流易损坏器件、器件实现反向通流的成品率低等技术问题,本实用新型提出了一种具备反向通流功能的器件。
一种具有反向通流功能的器件,所述器件包括:GCT芯片模块和驱动电路模块,其中,所述GCT芯片模块包括:p+发射极、n+缓冲层、n基区、p基区、 n+发射极构成的五层晶闸管结构,与所述p+发射极连接的阳极,与所述p基区连接的门极以及与所述n+发射极连接的阴极;
所述p+发射极和所述n+缓冲层掺杂;
所述p基区的门极下方有高浓度p+掺杂;
所述驱动电路模块通过电缆与所述GCT芯片模块中的阴极和门极相连。
进一步地,所述驱动电路模块包括IGCT驱动电路或ETO驱动电路中至少一种。
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