[实用新型]一种球形钨粉末的制备装置

权利要求书

1.一种球形钨粉末的制备装置，其特征在于，包括：等离子火炬系统，雾化室，旋风分离器和真空系统；

所述等离子火炬系统包括等离子火炬阴极部件，等离子火炬阳极部件，回水管，进水管，水冷管和供气管道；

所述等离子火炬阴极部件和所述等离子火炬阳极部件相对设置在所述雾化室内；

所述进水管的进口设置在所述雾化室外侧，另一端延伸至所述雾化室内且与等离子阴极部件相接触；所述回水管的出口设置在所述雾化室的外侧，另一端延伸至所述雾化室内且与所述进水管联通；

所述水冷管横贯所述雾化室，且所述水冷管在所述雾化室内的部分与等离子阳极部件相接触；

所述供气管道的一端包括两个位于所述雾化室外侧的进气口，所述供气管的出气口延伸至所述雾化室内且与所述等离子火炬阴极部件之间的距离小于与所述等离子火炬阳极部件；

所述旋风分离器和所述真空系统分别于所述雾化室联通。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进水管延伸至所述雾化室内的一段包括内环和外环两层，所述内环与所述进口相通，所述外环与所述等离子阴极部件无缝接触，所述回水管延伸至所述雾化室的部分与所述外环无缝接触。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述回水管的进口，所述进水管的出口和所述供气管道的进气口均设置在所述雾化室的顶端的中间位置。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述旋风分离器包括椎体，设置在椎体上的粉末进口，空气出口和细粉收集端；

所述粉末进口与所述雾化室联通，用于吸入所述雾化室内具有小粒径的细粒径钨粉和氟化氢气体，所述氟化氢气体通过所述空气出口排出所述旋风分离器；所述具有小粒径的细粒径钨粉跌落在细粉收集端。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括设置在雾化室下端的粗粉末收集端，用于收集在所述雾化室内形成的金属粉末中具有大粒径的粗粒径钨粉。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述雾化室，粗粉末收集端和旋风分类器的真空度达到5×10^-3Pa，所述雾化室内的压力介于0.04～0.06Mpa。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述供气管道用于向所述雾化室内充入高纯氢气和六氟化钨与氢气的混合气体，其中，所述六氟化钨的纯度大于99.999％，所述氢气的纯度大于99.999％；

所述雾化室内的压力介于0.04～0.06Mpa；

所述混合气体内包括的所述六氟化钨和所述氢气的体积比为1：3。