[实用新型]一种免拆换晶振片的清洁装置

权利要求书

1.一种免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：包括激光发生器(1)、柱形透镜(2)和排料管道(4)，所述激光发生器(1)设置于定位盘(5)背离所述晶振片(6)一侧，与所述激光发生器(1)相对应位置的所述定位盘(5)上设置有通孔(3)，所述激光发生器(1)与所述通孔(3)之间设置有所述柱形透镜(2)，所述排料管道(4)一端与所述激光发生器(1)与所述通孔(3)之间的空间连通，另一端连接抽气泵。

2.根据权利要求1所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述激光发生器(1)为波长248nm的KrF准分子激光发生器、波长308nm的XeCl准分子激光发生器、波长193nm的ArF准分子激光发生器、Nd:YAG固体激光发生器、CO₂激光发生器或半导体激光发生器。

3.根据权利要求1所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述通孔(3)的设置位置与所述定位盘(5)上原自带孔的位置对称。

4.根据权利要求1所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述排料管道(4)为耐高温且内壁不轻易粘附有机材料的管道。

5.根据权利要求1所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述抽气泵为真空泵。

6.根据权利要求1所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述排料管道(4)连接于所述柱形透镜(2)与所述通孔(3)之间。

7.根据权利要求6所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述排料管道(4)靠近所述通孔(3)设置以便于吸收有机材料。

8.根据权利要求4所述的免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：所述排料管道(4)包括不锈钢管，所述不锈钢管内壁镀有聚四氟乙烯。