[实用新型]用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机有效
申请号: | 201822226631.1 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN209836291U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 李志荣;冯晓庭 | 申请(专利权)人: | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/50 |
代理公司: | 44104 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 周克佑 |
地址: | 523820 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绝缘支撑机构 副转盘 固定盘 主转盘 阴极电弧源 工件转架 镀膜机 圆型 本实用新型 半球壳状 油缸组件 主固定盘 转动支承 镀膜 动力装置连接 支撑工件 活塞杆 侧边 油缸 升降 下边 转动 外部 | ||
1.一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征是包括:
主固定盘,水平固定安装在镀膜机的镀膜室内;
主转盘,转动支承在所述主固定盘的上面;
副固定盘,水平设置在所述主转盘的上方,且可升降;
副转盘,转动支承在所述副固定盘的上面;
第一绝缘支撑机构,安装在所述主转盘上,用于支撑工件;
第二绝缘支撑机构,安装在所述副转盘上,也用于支撑工件,且工件的与所述第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与所述第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开;
传动机构,与外部的动力装置连接,以同时带动所述主转盘和所述副转盘转动;
油缸组件,其活塞杆与所述副固定盘连接;通过油缸带动副固定盘升降,以实现所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构交替支撑工件。
2.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征在于:所述第一绝缘支撑机构包括至少三组第一绝缘支撑组件,所述第一绝缘支撑组件分别安装在所述主转盘上,并按圆周方向均匀分布,所述第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆和用于支撑工件的第一支撑板,所述副转盘上对应所述第一支撑杆开有支撑杆穿孔,所述第一支撑杆活动穿过所述支撑杆穿孔,所述第一支撑杆的下端绝缘固定在所述主转盘上,所述第一支撑板固定在所述第一支撑杆的上端。
3.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征在于:所述第二绝缘支撑机构包括至少三组第二绝缘支撑组件,所述第二绝缘支撑组件分别安装在所述副转盘上,并按圆周方向均匀分布,所述第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆和用于支撑工件的第二支撑板,所述第二支撑杆的下端绝缘固定在所述副转盘上,所述第二支撑板固定在所述第二支撑杆的上端。
4.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征在于:所述工件转架还包括偏压盘、偏压弹簧、炉内电极头和炉外电极头,所述偏压盘绝缘固定在所述副转盘上方,所述炉外电极头绝缘安装在镀膜室的炉壁上,且所述炉外电极头的一电连接端露出在镀膜室的外边,所述炉内电极头绝缘安装在镀膜室内,所述炉内电极头的一电连接端与所述炉外电极头的另一电连接端电性连接,所述偏压弹簧固定安装在炉内电极头的另一电连接端上,所述偏压弹簧的其中一端或两端上设置有向外延伸的导电杆,所述导电杆通过偏压弹簧的弹力始终压在偏压盘上,所述偏压盘分别通过导电线与所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构连接,以将工件与外部的偏压电源电性连接。
5.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征在于:所述工件转架还包括至少两组用于使得主转盘更平稳转动的主转盘限位组件和至少两组用于使得副转盘更平稳转动的副转盘限位组件。
6.根据权利要求5所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征在于:所述主转盘为环形板状,所述主转盘限位组件包括主转盘限位支座、竖向轴、横向限位轴承、第一横向轴和第一竖向限位轴承,所述主转盘限位支座固定安装在所述主固定盘上,所述竖向轴竖向安装在所述主转盘限位支座中部,所述横向限位轴承套装在所述竖向轴上,且所述横向限位轴承的侧面抵靠在所述主转盘的内环面上,所述第一横向轴横向安装在所述主转盘限位支座的上部,所述第一竖向限位轴承套装在所述第一横向轴上,且所述第一竖向限位轴承的侧面抵靠在所述主转盘的上面。
7.根据权利要求5所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架,其特征在于:所述副转盘限位组件包括副转盘限位支座、第二横向轴和第二竖向限位轴承,所述副转盘限位支座固定安装在所述副固定盘上,所述第二横向轴横向安装在所述副转盘限位支座的上部,所述第二竖向限位轴承套装在所述第二横向轴上,且所述第二竖向限位轴承的侧面抵靠在所述副转盘的上面。
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