[实用新型]一种耦合器和真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开一种耦合器及真空镀膜设备，其中，该耦合器包括对接座板组件、管道组件以及驱动机构；对接座板组件包括两相对设置的第一对接座板和第二对接座板，第一对接座板上开设有第一管孔，第二对接座板上对应第一管孔开设有第二管孔；管道组件包括自第一管孔的边缘向背离第二对接座板的方向延伸形成的第一管道、自第二管孔的边缘向背离第一对接座板的方向延伸形成的第二管道，且第二管道包括可沿轴向伸缩的波纹管段；驱动机构包括驱动轴，驱动轴与第二对接座板连接，以驱动第二对接座板朝向第一对接座板运动，实现第一对接座板与第二对接座板密封贴合连接。本实用新型的技术方案可提高真空镀膜设备的管道通断便利性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，特别涉及一种耦合器和真空镀膜设备。

背景技术

目前，在真空镀膜的镀膜生产线中，为实现管道的通断功能，通常采用阀门控制的方式。由于阀门与两侧管道采用法兰连接，故该方式只能实现管道中介质的通断，而无法实现管道的分离，其功能单一，不能有效满足镀膜生产线在维护过程中对机构空间转换上的要求；而且，现有的阀门控制方式还具有技术结构复杂、成本高、体积大、以及操作不便等缺点。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种耦合器，旨在提高真空镀膜设备的管道通断便利性。

为实现上述目的，本实用新型提出的耦合器包括对接座板组件、管道组件以及驱动机构；所述对接座板组件包括两相对设置的第一对接座板和第二对接座板，所述第一对接座板上开设有第一管孔，所述第二对接座板上对应所述第一管孔开设有第二管孔；所述管道组件包括自所述第一管孔的边缘向背离所述第二对接座板的方向延伸形成的第一管道、自所述第二管孔的边缘向背离所述第一对接座板的方向延伸形成的第二管道，且所述第二管道包括可沿轴向伸缩的波纹管段；所述驱动机构包括驱动轴，所述驱动轴与所述第二对接座板连接，以驱动所述第二对接座板朝向所述第一对接座板运动，实现所述第一对接座板与所述第二对接座板密封贴合连接。

可选地，所述耦合器还包括两相对设置的第一固定板和第二固定板，所述第一对接座板固定叠设于所述第一固定板上，所述第二对接座板活动叠设于所述第二固定板上，所述驱动轴的一端穿设所述第二固定板后与所述第二对接座板连接。

可选地，所述驱动机构为气缸，所述气缸设于所述第二固定板背离所述第一固定板的一侧。

可选地，所述耦合器还包括固定座，所述固定座包括固定底板和第三固定板，所述气缸安装于所述固定底板上，所述第二固定板和所述第三固定板相对设置；且在沿所述第二管道的轴向上，所述第二固定板固设于所述固定底板邻近所述第一固定板的一端边缘，所述第三固定板固设于所述固定底板远离所述第一固定板的另一端边缘；所述第二管道的一端穿设出所述第三固定板，所述波纹管段设于所述第二固定板和所述第三固定板之间。

可选地，所述气缸设有两个，两个所述气缸分设于所述波纹管段沿轴向的两侧。

可选地，所述第二管道还包括前连接管段和后连接管段，所述前连接管段与所述第二管孔连接，所述后连接管段穿设出所述第三固定板，所述波纹管段的两端分别与所述前连接管段和所述后连接管段连通。

可选地，所述波纹管段和所述后连接管段的连接处设有密封箍。

可选地，所述第二对接座板上于所述第二管孔的外围设有环形嵌槽，所述环形嵌槽中嵌设有密封圈。

可选地，所述耦合器采用不锈钢材料制成。