[实用新型]匀胶机

说明书

本实用新型提供一种匀胶机，包括载片台，所述载片台上设有用于放置衬底片的圆盘，所述圆盘周向均匀设有用于将所述衬底片夹持固定的多个夹持杆，各所述夹持杆的夹持端位于所述圆盘上方，各所述夹持杆的另一端弯折后水平延伸至所述圆盘下方形成活动端，各所述活动端上套设有可带动所述活动端移动的弹性组件，所述圆盘上设有驱动机构，多个所述弹性组件中心设有由所述驱动机构带动的凸轮，所述凸轮的边缘抵接于各所述弹性组件。本实用新型中，利用驱动机构带动凸轮转动，而凸轮转动时推顶各弹性组件，通过弹性组件带动夹持杆移动来装夹或拆卸衬底片，这种结构简单，拆、装方便，且不需额外维护。

技术领域

本实用新型涉及薄膜制作设备技术领域，尤其提供一种匀胶机。

背景技术

在薄膜的成型工艺中，高速旋涂是较常用的方法，其具有成膜速度快、控制方便、成本低廉等优点，其成膜原理是将衬底片固定夹紧在匀胶机载片台上，通过匀胶机电机带动载片台高速旋转，利用高速旋转的离心力均匀成膜。

现有的匀胶机配有真空泵接口，用以在载片台圆盘上吸附固定衬底片，但是真空泵吸附管容易堵塞，需要定期清理，清理步骤繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种匀胶机，旨在解决现有技术中匀胶机装夹装置需定期维护的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种匀胶机，包括载片台，所述载片台上设有用于放置衬底片的圆盘，所述圆盘周向均匀设有用于将所述衬底片夹持固定的多个夹持杆，各所述夹持杆的夹持端位于所述圆盘上方，各所述夹持杆的另一端弯折后水平延伸至所述圆盘下方形成活动端，各所述活动端上套设有可带动所述活动端移动的弹性组件，所述圆盘上设有驱动机构，多个所述弹性组件中心设有由所述驱动机构带动的凸轮，所述凸轮的边缘抵接于各所述弹性组件。

进一步地，所述圆盘下方还设有多个保护套，各所述夹持杆的活动端分别伸入各所述保护套内，所述弹性组件包括设于所述活动端的端部的挡板、套设于所述活动端上且位于所述挡板与所述保护套一侧壁之间的第一弹簧以及与所述第一弹簧相对设置且位于所述挡板与所述保护套另一侧壁之间的第二弹簧，所述保护套上水平设置一开口，所述挡板由所述开口处伸出且可于所述开口处水平活动，所述挡板伸出所述开口的端部与所述凸轮的边缘抵接。

进一步地，所述凸轮水平设置，所述凸轮上设有多个凸起，相邻两所述凸起之间圆滑连接，所述凸起的数量与所述挡板数量对应，各所述挡板伸出所述开口的端部抵接于各所述凸起处。

进一步地，所述夹持杆为的数量与所述凸起的数量、所述挡板的数量相匹配。

进一步地，所述圆盘径向设置多个导向槽，各所述夹持杆的夹持端活动设置于各所述导向槽内。

进一步地，各所述夹持端的端部设有夹持块。

进一步地，所述圆盘底部中心设有环状凸出部，所述凸轮套设于所述环状凸出部上。

进一步地，所述驱动机构包括垂直穿设于所述圆盘的旋转杆以及设于所述旋转杆底部的传动齿轮，所述凸轮上设有弧形齿槽，所述传动齿轮伸入所述弧形齿槽与其啮合，所述弧形齿槽与所述凸轮同心。

进一步地，所述匀胶机还包括盖合于所述载片台上方用于清洗所述衬底片的加热装置，所述加热装置上设有用于注胶的滴孔。

进一步地，所述加热装置包括可盖于所述载片台上的盖体以及设于所述盖体上的紫外灯，所述滴孔贯通所述盖体，所述紫外灯设于所述滴孔旁侧，所述紫外灯外设有反光聚光灯罩。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的匀胶机，利用驱动机构带动凸轮转动，而凸轮转动时推顶各弹性组件，通过弹性组件带动夹持杆移动来装夹或拆卸衬底片，这种结构简单，拆、装方便，且不需额外维护。

附图说明