[实用新型]一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构

权利要求书

1.一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，包括安装底座，其特征在于：所述安装底座上设置有沿竖直方向设置的导轨，所述导轨上安装有与所述导轨滑动配合的滑动板，所述滑动板上安装有基板平台，所述基板平台上设置有吸盘，所述基板平台下方设置有悬臂支撑架支撑所述基板平台，还包括平行于所述导轨设置的丝杆，所述丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆螺母安装在所述滑动板上，所述丝杆通过传动组件连接有伺服电机，所述伺服电机能够驱动所述滑动板使得所述基板平台沿所述丝杆上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述导轨的一侧设置有绝对式光栅尺或绝对式编码器中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述安装底座包括底板和竖向背板，所述竖向背板的两侧分别设有加强斜板，底板和竖向背板以及所述加强斜板一体成型。

4.根据权利要求3所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述导轨设置有两个，两个导轨安装在所述安装底座的竖向背板上。

5.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述基板平台的四边上分别设置有安全传感器，所述安全传感器为光电传感器。

6.根据权利要求3所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述伺服电机安装在所述安装底座的侧边。

7.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述导轨为滚珠导轨。

8.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述传动组件为同步带传动机构或者齿轮组传动机构中任意一种。

9.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：在所述安装底座上且位于所述滑动板的下方设置有缓冲块。

10.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其特征在于：所述悬臂支撑架包括三角支撑块。