[实用新型]一种新型乙硼烷尾气吸附装置

权利要求书

1.一种新型乙硼烷尾气吸附装置，其特征在于：包括驱替泵、活塞容器组、氮气瓶、二硫化碳存储罐、吸收釜模块和回收模块；

所述驱替泵通过一电动机驱动，驱替泵的输入端连接在一液压箱上，所述驱替泵的输出端连接在活塞容器组上驱动活塞容器组运动；所述活塞容器组包括若干并列设置的活塞容器单元，所述活塞容器单元的输出端连接在二硫化碳存储罐上，所述二硫化碳存储罐的输出端连接在吸收釜模块上；所述驱替泵驱动活塞容器带动二硫化碳存储罐进入吸收釜模块内；所述氮气瓶通过一电磁阀并联在吸收釜模块的输入端；

所述吸收釜模块至少包括一对吸收釜，所述该对吸收釜内的底端侧边通过一带电磁阀的平衡管道导通；所述吸收釜内设置有由驱替泵泵送的二硫化碳液体，且与二硫化碳存储罐相连的吸收釜上设置有乙硼烷的进气管道，且该进气管道的底端延伸至吸收釜的底内壁，所述吸收釜的顶端之间通过连接管道相连且连接管道伸入在前一级的吸收釜内的端部位于吸收釜顶盖处，连接管道伸入在后一级的吸收釜内的端部位于吸收釜的底内壁处，最后一级的吸收釜上连接在回收模块上；

所述吸收釜模块包括回收阀、回收罐、回压容器和手摇泵；所述回收罐通过回收阀连接在最后一级的吸收釜上，所述回压容器通过管道连接在回收罐上，所述手摇泵的输出端与回压容器相连。