[实用新型]一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置

说明书

本实用新型提供一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，涉及半导体材料技术领域。实现了能够避免夹持单晶硅片时产生刚性接触造成单晶硅片产生影裂的效果。该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，包括固定装置、显光装置和输送装置，所述显光装置和输送装置均位于固定装置的表面，所述显光装置位于输送装置的底部。该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，利用柔性海绵制成的放置垫放置单晶硅片，避免单晶硅片与垫板之间刚性接触产生损伤，利用大气压将单晶硅片固定在吸附盘的底部，利用香柏油作为吸附盘与单晶硅片之前的介质，避免了吸附盘与单晶硅片之间产生刚性接触造成影裂。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料技术领域，特别的为一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。

现利用单晶硅片生产加工太阳能电池板时需要将单独的单晶硅片组装在一起，在拼装的时候需要将单晶硅片进行夹持输送，单晶硅片自身脆性与夹持机械手接触时容易因为刚性接触造成单晶硅片内部产生影裂痕，从而影响产品质量，故急需一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置。

实用新型内容

本实用新型提供的发明目的在于提供一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，能够避免夹持单晶硅片时产生刚性接触造成单晶硅片产生影裂。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，包括固定装置、显光装置和输送装置，所述显光装置和输送装置均位于固定装置的表面，所述显光装置位于输送装置的底部。

所述固定装置包括垫板，所述垫板的顶部固定安装有第一支撑柱，所述第一支撑柱的右侧通过输送装置与第二支撑柱活动连接，所述第二支撑柱的底部与垫板固定连接，垫板的顶部固定安装有放置垫。

所述显光装置包括第一安装板，所述第一安装板的左侧通过轴承活动安装有转轴，所述转轴的表面套设有显光板，转轴的左侧固定安装有限位齿轮，所述限位齿轮底部设有卡块，所述卡块的顶部固定安装有弹簧，所述弹簧的顶部固定安装有安装槽。

所述输送装置包括辅杆，所述辅杆的底部设有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块的底部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定安装有吸附装置。

所述吸附装置包括出油管，所述出油管的表面自上到下依次套设有固定块和灯盘，所述灯盘的顶部与固定块固定连接，出油管的顶部连通有微型水泵，出油管的底部固定安装有吸附盘。

优选的，所述滑块的内部滑动连接有辅杆，所述辅杆的两端分别与第一支撑柱、第二支撑柱固定连接。

优选的，所述安装槽的右侧固定安装有第二安装板，所述第二安装板的内部套设有转轴，第二安装板的底部固定安装有垫板。

优选的，所述卡块的大小与限位齿轮的齿牙相适配，所述限位齿轮的左侧固定安装有转动把手。

优选的，所述放置垫为柔性橡胶材料制成，放置垫的顶部竖直开设有矩形槽。

优选的，所述微型水泵的顶部通过导管与储油罐相连通，所述储油罐的底部与垫板固定连接，微型水泵的底部与固定块固定连接。

优选的，所述吸附盘内部相对于出油管的位置竖直贯穿开设出油孔，吸附盘为高透玻璃制成。

优选的，所述螺纹杆的右侧固定安装有电机，所述电机的左侧与第二支撑柱固定连接。

本实用新型提供了一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置。具备以下有益效果：