[实用新型]一种抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪

权利要求书

1.一种抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，其特征在于：中层单晶硅片上设有陀螺机械结构和止档结构，所述陀螺机械结构包括质量块连接机构（2）、两个子结构（1）、两个桁架与水平直梁的组合机构（3）、两个U型梁组合梁（4）、八个第一U型梁（6）和四个直梁（12），所述两个子结构（1）对称分布在质量块连接机构（2）和两个桁架与水平直梁的组合机构（3）的两侧，质量块连接机构（2）和两个桁架与水平直梁的组合机构（3）呈直线分布，且质量块连接机构（2）位于两个桁架与水平直梁的组合机构（3）之间，第一U型梁（6）沿子结构（1）的长边设置，且位于长边的两端，桁架与水平直梁的组合机构（3）通过第一U型梁（6）与子结构（1）连接，U型梁组合梁（4）沿子结构（1）的长边设置，且位于远离质量块连接机构（2）一侧的两个第一U型梁（6）的中间；直梁（12）沿子结构（1）宽度方向设置，用于连接子结构（1）两侧的第一U型梁（6）；

微机械陀螺止档结构包括两个检测框架止档结构（13）、四个外侧驱动梁止档结构（14）、四个检测梁止档结构（15）和四个质量块连接机构止档结构（16）；两个检测框架止档结构（13）对称设置在两个子结构（1）的外侧，且位于子结构（1）的外侧中央位置，四个外侧驱动梁止档结构（14）分别布置在两侧位置的四根第一U型梁（6）上，四个检测梁止档结构（15）分别对称布置在两个桁架与水平直梁的组合机构（3）上，且位于靠近质量块连接机构（2）的一侧，四个质量块连接机构止档结构（16）布置在质量块连接机构（2）的长度方向的两侧。

2.根据权利要求1所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：位于子结构（1）同一侧的两个第一U型梁（6）开口方向相对。

3.根据权利要求1所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：所述质量块连接机构（2）包括水平直梁（201b）、4个直梁（201a）和4个第二U型梁（202），水平直梁（201b）的两端分别通过两个开口相对设置的第二U型梁（202）与子结构（1）连接，四个直梁（201a）的一端共同与水平直梁（201b）中点相连，与水平直梁（201b）成45°、135°、225°和315°夹角布置，四个直梁（201a）的另一端均与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固，四个质量块连接机构止档结构（16）布置在水平直梁（201b）长度方向的两侧。

4.根据权利要求3所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：所述两个开口相对设置的第二U型梁（202）的开口端相连。

5.根据权利要求1所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：所述桁架与水平直梁的组合机构（3）包括V型桁架（301）和水平直梁（302），V型桁架（301）的顶点与水平直梁（302）中心连接，水平直梁（302）与质量块连接机构（2）同侧，V型桁架（301）的两个自由端与第一U型梁（6）封闭端侧壁连接，水平直梁（302）两端均与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

6.根据权利要求1所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：所述U型梁组合梁（4）包括两个第三U型梁（401），两个第三U型梁（401）开口端相连，连接处外壁与上层真空封装盖板和下层硅衬底锚固。

7.根据权利要求1所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：所述检测框架止档结构（13）包括固定锚点和固定锚点外沿一圈的多个等距排列的半圆结构。

8.根据权利要求1所述的抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪，其特征在于：外侧驱动梁止档结构（14）包括与固定锚点相连的非机械结构硅圆片位置的伸出结构以及所述伸出结构外沿的多个等距排列的半圆结构；

检测梁止档结构（15）包括与固定锚点相连的非机械结构硅圆片位置的伸出结构以及所述伸出结构外沿的多个等距排列的半圆结构；

质量块连接机构止档结构（16）包括与固定锚点相连的非机械结构硅圆片位置的伸出结构以及所述伸出结构外沿的多个等距排列的半圆结构。