[实用新型]一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备

权利要求书

1.一种实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备，其特征在于，包括X射线衍射监测装置以及分析统计系统，所述X射线衍射监测装置的X射线监测数据传输至分析统计系统，所述X射线衍射监测装置包括滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置、X射线接收装置及计步器、测量记录系统，所述滑动轨道、测角仪圆环、X射线发射装置以及X射线接收装置及计步器设置在真空密封舱内，在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热装置，以及被蒸发控制系统控制的蒸发源，所述滑动轨道固定在真空密封舱内，所述测角仪圆环沿滑动轨道滑动，所述X射线发射装置以及X射线接收装置及计步器设置在测角仪圆环上，所述X射线接收装置及计步器绕测角仪圆环旋转，所述X射线发射装置不断改变入射角，发射的X射线投射到钙钛矿太阳能电池基片表面产生衍射，所述X射线接收装置及计步器把捕捉到衍射线的数据传输至测量记录系统，所述测量记录系统将该数据传输至分析统计系统，所述分析统计系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。

2.如权利要求1所述的实时监测钙钛矿薄膜成膜质量的设备，其特征在于，所述X射线衍射监测装置的测试次数与时间间隔由分析统计系统设置。